[实用新型]一种等离子清洗机有效
| 申请号： | 201821354683.0 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN208894765U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 郭驰 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B15/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215634 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及基板清洗技术领域，尤其涉及一种等离子清洗机，其包括腔体和排气罩，所述腔体的下部设置有多个等离子体出口，所述排气罩的数量为多个，且多个所述排气罩与多个所述等离子体出口一一对应设置。本实用新型通过设置多个排气罩，使每个等离子体出口对应一个排气罩，有效缩小了排气罩的体积，使得等离子体出口的气流压力能够将从基板上清洗下来的污染物顺利从排气罩的排气口排出，提升了等离子清洗机的排气性能。 | ||
| 搜索关键词： | 排气罩 等离子体出口 等离子清洗机 本实用新型 腔体 一一对应设置 基板清洗 排气口排 排气性能 气流压力 基板 清洗 污染物 | ||
【主权项】：
1.一种等离子清洗机，包括腔体(10)和排气罩(20)，所述腔体(10)的下部设置有多个等离子体出口(11)，其特征在于，所述排气罩(20)的数量为多个，且多个所述排气罩(20)与多个所述等离子体出口(11)一一对应设置。
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