[实用新型]一种等离子清洗机有效
申请号: | 201821354683.0 | 申请日: | 2018-08-22 |
公开(公告)号: | CN208894765U | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 郭驰 | 申请(专利权)人: | 张家港康得新光电材料有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B15/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215634 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 排气罩 等离子体出口 等离子清洗机 本实用新型 腔体 一一对应设置 基板清洗 排气口排 排气性能 气流压力 基板 清洗 污染物 | ||
1.一种等离子清洗机,包括腔体(10)和排气罩(20),所述腔体(10)的下部设置有多个等离子体出口(11),其特征在于,所述排气罩(20)的数量为多个,且多个所述排气罩(20)与多个所述等离子体出口(11)一一对应设置。
2.根据权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述排气罩(20)内位于进气口与排气口(221)之间设置有防倒流装置(30)。
3.根据权利要求2所述的等离子清洗机,其特征在于,所述排气罩(20)包括平直段(21)和收口段(22),所述平直段(21)位于靠近所述等离子体出口(11)的一侧,所述进气口设置于所述平直段(21)靠近所述等离子体出口(11)的一端,所述收口段(22)的大端连接于所述平直段(21)远离所述等离子体出口(11)的一端,所述排气口(221)设置于所述收口段(22)的小端,所述防倒流装置(30)设置于所述平直段(21)内。
4.根据权利要求3所述的等离子清洗机,其特征在于,所述防倒流装置(30)与所述进气口之间的距离是所述平直段(21)整体高度的三分之一。
5.根据权利要求2-4任一项所述的等离子清洗机,其特征在于,所述防倒流装置(30)为单向阀。
6.根据权利要求2-4任一项所述的等离子清洗机,其特征在于,所述防倒流装置(30)为挡板,所述挡板上设置有若干通气孔。
7.根据权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述等离子清洗机还包括传送装置,所述传送装置设置于所述等离子体出口(11)与所述排气罩(20)之间。
8.根据权利要求7所述的等离子清洗机,其特征在于,所述传送装置包括多个传送杆和套设在每个所述传送杆上的多个传送滚轮。
9.根据权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述腔体(10)内设置有电离电极。
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