[实用新型]一种PECVD设备石墨舟保护机构有效

申请号：	201821324392.7	申请日：	2018-08-16
公开（公告）号：	CN208507638U	公开（公告）日：	2019-02-15
发明（设计）人：	林启;陈刚;汪伟;魏玉明	申请（专利权）人：	通威太阳能（成都）有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/673;H01L31/18
代理公司：	成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230	代理人：	杨保刚;邓芸
地址：	610299 四川省成都市双流***	国省代码：	四川;51
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摘要：	本实用新型公开了一种PECVD设备石墨舟保护机构，涉及太阳能电池硅片生产设备技术领域，解决了现有PECVD设备中石墨舟容易倾倒、上方石墨舟中的硅片碎片容易掉落至下方石墨舟中，导致石墨舟损坏、石墨舟在工艺过程中出现高频，从而影响产线产能的问题，本实用新型包括PECVD设备的壳体，壳体内部在竖直方向上均匀设置有若干水平的管桨，管桨上放置有石墨舟，在每个管桨下方的壳体侧壁上均设置有保护托盘，保护托盘包括平面部与上翘的弧面部，平面部与壳体侧壁固定连接，保护托盘两端面设置有侧板，弧面部对应的侧板上开设有弧形滑槽，弧面部上方设置有弧形挡板，弧形挡板两端位于弧形滑槽中，弧面部上设置有带动弧形挡板沿弧形滑槽滑动的驱动机构。
搜索关键词：	石墨舟弧面部托盘弧形挡板弧形滑槽本实用新型保护机构壳体侧壁平面部侧板太阳能电池硅片工艺过程硅片碎片均匀设置壳体内部驱动机构生产设备两端面掉落滑动产能产线壳体上翘竖直倾倒
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【主权项】：

1.一种PECVD设备石墨舟保护机构，包括PECVD设备的壳体(1)，壳体(1)内部在竖直方向上均匀设置有若干水平的管桨(3)，管桨(3)上放置有石墨舟(2)，其特征在于：在每个管桨(3)下方的壳体(1)侧壁上均设置有保护托盘(7)，保护托盘(7)包括平面部(7.2)与上翘的弧面部(7.1)，平面部(7.2)与壳体(1)侧壁固定连接，保护托盘(7)两端面设置有侧板(9)，弧面部(7.1)对应的侧板(9)上开设有弧形滑槽(4)，弧面部(7.1)上方设置有弧形挡板(10)，弧形挡板(10)两端位于弧形滑槽(4)中，弧面部(7.1)上设置有带动弧形挡板(10)沿弧形滑槽(4)滑动的驱动机构(11)。

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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