[实用新型]一种硅片清洗机用干燥装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗机用干燥装置，属于硅片清洗技术领域，包括干燥箱体，干燥箱体底部左右两侧均设置有排水管，排水管上设置排水阀，排水管和出水总管相连，排水管之间设置有干燥甩盘，干燥甩盘连接干燥电机联轴器，干燥电机联轴器和干燥电机相连，干燥箱体侧壁设置有湿度传感器和温度传感器，干燥箱体底面设有进气管，进气管上设置有加热装置和风机，硅片挂篮放置在干燥甩盘上，干燥箱体上还设置有防撞环，干燥箱体顶部设置有出风口，硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器，PLC控制器与排水阀、干燥电机、湿度传感器、温度传感器、加热装置和风机相连。本实用新型具有干燥效率高更好和更节能等优点。

主权项

1.一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱体（1），其特征在于：所述干燥箱体（1）底部左右两侧均设置有排水管（2），所述排水管（2）上设置排水阀（3），所述排水管（2）和出水总管（4）相连，所述排水管（2）之间设置有干燥甩盘（5），所述干燥甩盘（5）连接干燥电机联轴器（6），所述干燥电机联轴器（6）和干燥电机（7）相连，所述干燥箱体（1）侧壁设置有湿度传感器（8）和温度传感器（9），所述干燥箱体（1）底面设有进气管（10），所述进气管（10）上设置有加热装置（11）和风机（12），所述干燥甩盘（5）上放置有硅片挂篮（13），所述干燥箱体（1）上还设置有防撞环（14），所述干燥箱体（1）顶部设置有出风口（15），所述硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器（16），所述PLC控制器（16）与排水阀（3）、干燥电机（7）、湿度传感器（8）、温度传感器（9）、加热装置（11）和风机（12）相连。