[实用新型]一种硅片清洗机用干燥装置

权利要求书

1.一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱体（1），其特征在于：所述干燥箱体（1）底部左右两侧均设置有排水管（2），所述排水管（2）上设置排水阀（3），所述排水管（2）和出水总管（4）相连，所述排水管（2）之间设置有干燥甩盘（5），所述干燥甩盘（5）连接干燥电机联轴器（6），所述干燥电机联轴器（6）和干燥电机（7）相连，所述干燥箱体（1）侧壁设置有湿度传感器（8）和温度传感器（9），所述干燥箱体（1）底面设有进气管（10），所述进气管（10）上设置有加热装置（11）和风机（12），所述干燥甩盘（5）上放置有硅片挂篮（13），所述干燥箱体（1）上还设置有防撞环（14），所述干燥箱体（1）顶部设置有出风口（15），所述硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器（16），所述PLC控制器（16）与排水阀（3）、干燥电机（7）、湿度传感器（8）、温度传感器（9）、加热装置（11）和风机（12）相连。

2.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述干燥箱体（1）底面上部设置多个出气孔（17）。

3.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述防撞环（14）采用硅胶材质。

4.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述防撞环（14）有三个，所述防撞环（14）均匀分布。

5.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述干燥甩盘（5）上设置有防滑纹（18）。

6.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述干燥甩盘（5）上设置排水槽（19）。

7.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述出风口（15）设置有引风管（20），所述引风管（20）上设置有引风机（21）和过滤装置（22），所述引风机（21）和PLC控制器（16）相连。