[实用新型]一种用于双面镀膜的载板

摘要

本实用新型涉及太阳能电池片的制造技术领域，具体而言，涉及一种用于双面镀膜的载板。本实用新型提供的一种用于双面镀膜的载板，在板式PECVD镀膜过程中，当电池片承载于挂钩上时，挂钩的倾斜支腿可有效地扩大电池片暴露在外的面积，可尽量减少气体流动时的干扰，有效地减小对硅片的遮挡，有效地减小接触位置镀膜不充分的印记；同时，将所述支腿端部设置倾斜部，上下均做倾斜处理，使得该载板不仅仅适用于单上面镀膜或单下面镀膜，还可以同时进行上下镀膜，而不需要进行翻面切换；通过挂钩承载的方式，可以尽量减少载板散热对硅片的影响，并且接触面积小，尽量减少对硅片的遮挡，有效地减小接触位置镀膜不充分的印记。

主权项

1.一种用于双面镀膜的载板，其特征在于，所述用于双面镀膜的载板包括至少包括一个单元，每个所述单元包括用于放置电池片的框架以及用于承载电池片的至少三个挂钩，所述挂钩设置于所述框架用于支撑电池片；所述挂钩包括两侧相对设置的倾斜支腿，所述支腿端部设置有倾斜部。