[实用新型]一种任意结构的肖特基芯片及肖特基二极管有效
申请号: | 201821246097.4 | 申请日: | 2018-08-03 |
公开(公告)号: | CN208861996U | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 薛涛;关仕汉 | 申请(专利权)人: | 淄博汉林半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L21/329;H01L29/06 |
代理公司: | 淄博佳和专利代理事务所 37223 | 代理人: | 孙爱华 |
地址: | 255086 山东省淄博市高*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种任意结构的肖特基芯片及肖特基二极管,属于半导体技术领域。包括衬底(8)以及衬底(8)表面的外延层(7),在外延层(7)表面设置有肖特基界面(6),其特征在于:在肖特基芯片(3)外侧的任意位置切割形成切割面(10),在切割面(10)表面设置有绝缘层。在本任意结构的肖特基芯片及肖特基二极管中,通过设置绝缘层,取代了传统的耐压环,因此避免了耐压环中因弯曲弧度部位而导致的耐压性能降低的缺陷,同时在进行晶元切割时可以在任意位置进行切割,提高了芯片切割的灵活性,降低了工艺难度同时保证了耐压强度。 | ||
搜索关键词: | 肖特基 肖特基二极管 芯片 耐压 绝缘层 表面设置 切割面 外延层 衬底 切割 半导体技术领域 工艺难度 耐压性能 弯曲弧度 位置切割 芯片切割 传统的 晶元 保证 | ||
【主权项】:
1.一种任意结构的肖特基芯片,包括衬底(8)以及衬底(8)表面的外延层(7),在外延层(7)表面设置有肖特基界面(6),其特征在于:在肖特基芯片(3)外侧的任意位置切割形成切割面(10),在切割面(10)表面设置有绝缘层(11);所述的绝缘层(11)为磷酸玻璃层。
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