[实用新型]加工装置有效
| 申请号： | 201821204209.X | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208773297U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 冈本典彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/10;B24B37/20;B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种能够准确地测量研磨载荷、对晶圆进行期望的加工的加工装置。其具有：多个卡盘，其用于保持基板；以及至少1个加工轴；在所述加工装置中，所述加工轴包括：加工部，其对所述基板进行加工；电动机，其使所述加工部旋转；电动机保持部，其保持所述电动机；以及升降机构，其使所述电动机保持部升降；所述电动机保持部由用于安装所述电动机的环部以及包围所述电动机的周围并与所述升降机构的升降轴相连接的罩体形成；在所述电动机和所述环部之间设置有用于调整所述电动机的倾斜状态的倾动机构以及至少3个载荷传感器S。 | ||
| 搜索关键词： | 电动机 电动机保持部 加工装置 升降机构 加工轴 加工 环部 基板 本实用新型 载荷传感器 倾动机构 倾斜状态 研磨 升降轴 晶圆 卡盘 罩体 升降 测量 包围 期望 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，其具有：多个卡盘，其用于保持基板；以及至少1个加工轴；所述加工装置的特征在于，所述加工轴包括：加工部，其对所述基板进行加工；电动机，其使所述加工部旋转；电动机保持部，其保持所述电动机；以及升降机构，其使所述电动机保持部升降；所述电动机保持部由用于安装所述电动机的环部以及包围所述电动机的周围并与所述升降机构的升降轴相连接的罩体形成；在所述电动机和所述环部之间设置有用于调整所述电动机的倾斜状态的倾动机构以及至少3个载荷传感器。
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