[实用新型]一种蚀刻结构的检测装置

摘要

本实用新型公开了一种蚀刻结构的检测装置，涉及检测设备技术领域。该蚀刻结构的检测装置包括底座、平台、平移组件、探针组件及升降组件，所述平移组件设置于所述底座和所述平台之前，并能够驱动所述平台沿水平面上的第一方向和第二方向移动；所述探针组件设置于所述平台的上方；所述升降组件与所述探针连接，用于驱动所述探针上下移动。待检测的工件固定在平台上，平台可以相对底座在水平面上移动，探针组件设置于平台上方，通过移动平台，可以使探针组件与平台上的任一位置相对，以便对待检测工件的多处标记检测，实现对不良产品的提前拦截，避免不良产品流至客户导致客户投诉。

主权项

1.一种蚀刻结构的检测装置，包括底座(1)和平台(2)，其特征在于，还包括：平移组件(5)，所述平移组件(5)设置于所述底座(1)和所述平台(2)之间，并能够驱动所述平台(2)沿水平面上的第一方向和第二方向移动；探针组件(3)，所述探针组件(3)设置于所述平台(2)的上方；及升降组件(4)，所述升降组件(4)与所述探针组件(3)连接，用于驱动所述探针组件(3)上下移动。