[实用新型]一种蚀刻结构的检测装置

权利要求书

1.一种蚀刻结构的检测装置，包括底座(1)和平台(2)，其特征在于，还包括：

平移组件(5)，所述平移组件(5)设置于所述底座(1)和所述平台(2)之间，并能够驱动所述平台(2)沿水平面上的第一方向和第二方向移动；

探针组件(3)，所述探针组件(3)设置于所述平台(2)的上方；及

升降组件(4)，所述升降组件(4)与所述探针组件(3)连接，用于驱动所述探针组件(3)上下移动。

2.如权利要求1所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述探针组件(3)包括两根探针(31)。

3.如权利要求2所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，两个所述探针(31)之间的距离可调。

4.如权利要求3所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述探针组件(3)还包括固定板，所述固定板包括可拆卸连接的第一板(32)和第二板(33)，所述探针(31)夹持固定于所述第一板(32)和所述第二板(33)之间。

5.如权利要求4所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述第一板(32)和所述第二板(33)之间设置有多个安装孔，所述探针(31)能选择性地与一个所述安装孔配合。

6.如权利要求1所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述底座(1)上设置有支撑架(11)，所述升降组件(4)设置于所述支撑架(11)上，所述探针组件(3)与所述升降组件(4)的输出端(41)连接。

7.如权利要求1所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述升降组件(4)包括气缸。

8.如权利要求1所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述平移组件(5)包括第一平移机构(51)和第二平移机构(52)，所述第一平移机构设置于所述底座(1)，所述第一平移机构(51)能够驱动所述平台(2)沿所述第一方向移动，所述第二平移机构(52)能够驱动所述平台(2)沿所述第二方向移动。

9.如权利要求8所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述第一平移机构(51)包括沿所述第一方向设置于所述底座(1)上的第一滑轨，所述第二平移机构(52)能够沿所述第一滑轨滑动；所述第二平移机构(52)包括沿所述第二方向设置的第二滑轨，所述平台(2)能够沿所述第二滑轨滑动。

10.如权利要求1所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述蚀刻结构的检测装置还包括控制组件，所述控制组件分别与所述升降组件(4)和所述平移组件(5)电连接。