[实用新型]一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，属于化学气相沉积领域，一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括化学气相沉积炉本体，化学气相沉积炉本体的上端和下端分别连接有进气管和排气管，化学气相沉积炉本体的外侧设有第一弹性塑料保护套，第一弹性塑料保护套的上端和下端分别连接有第一连通管和第二连通管，且第一连通管与进气管螺纹连接、排气管与第二连通管螺纹连接，第一连通管上连接有第一阀门，第二连通管上连接有第二阀门，第一弹性塑料保护套的侧壁固定连接有抽气管，抽气管上连接有抽气阀门，可以有效实现及时发现化学气相沉积炉漏气的效果，减少沉积过程中外界杂质的掺杂。

主权项

1.一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括化学气相沉积炉本体(3)，其特征在于：所述化学气相沉积炉本体(3)的上端和下端分别连接有进气管(4)和排气管(9)，所述化学气相沉积炉本体(3)的外侧设有第一弹性塑料保护套(1)，所述第一弹性塑料保护套(1)的上端和下端分别连接有第一连通管(5)和第二连通管(10)，且第一连通管(5)与进气管(4)螺纹连接、排气管(9)与第二连通管(10)螺纹连接，所述第一连通管(5)上连接有第一阀门(6)，所述第二连通管(10)上连接有第二阀门(11)，所述第一弹性塑料保护套(1)的侧壁固定连接有抽气管(7)，所述抽气管(7)上连接有抽气阀门(13)，所述抽气管(7)远离第一弹性塑料保护套(1)的一端连接有法兰(8)，所述第一弹性塑料保护套(1)与抽气阀门(13)之间设有报警器(14)，所述报警器(14)与抽气管(7)之间固定连接有固定盒(15)，所述报警器(14)靠近抽气管(7)的一端活动连接有触发开关(16)，且触发开关(16)位于固定盒(15)的内侧，所述抽气管(7)上连接有与触发开关(16)相匹配的球形弹性塑料保护套(17)，且球形弹性塑料保护套(17)与抽气管(7)连通。