[实用新型]一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置

说明书

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，属于化学气相沉积领域，一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括化学气相沉积炉本体，化学气相沉积炉本体的上端和下端分别连接有进气管和排气管，化学气相沉积炉本体的外侧设有第一弹性塑料保护套，第一弹性塑料保护套的上端和下端分别连接有第一连通管和第二连通管，且第一连通管与进气管螺纹连接、排气管与第二连通管螺纹连接，第一连通管上连接有第一阀门，第二连通管上连接有第二阀门，第一弹性塑料保护套的侧壁固定连接有抽气管，抽气管上连接有抽气阀门，可以有效实现及时发现化学气相沉积炉漏气的效果，减少沉积过程中外界杂质的掺杂。

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积领域，更具体地说，涉及一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

但是，现有的封闭式化学气相沉积炉没有防漏气装置，一旦化学气相沉积炉漏气很难在很短时间内被发现，而化学气相沉积炉漏气会有杂质进入导致沉积不均匀，镀层质量差等问题。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，它可以有效实现及时发现化学气相沉积炉漏气的效果，减少沉积过程中外界杂质的掺杂。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括化学气相沉积炉本体，所述化学气相沉积炉本体的上端和下端分别连接有进气管和排气管，所述化学气相沉积炉本体的外侧设有第一弹性塑料保护套，所述第一弹性塑料保护套的上端和下端分别连接有第一连通管和第二连通管，且第一连通管与进气管螺纹连接、排气管与第二连通管螺纹连接，所述第一连通管上连接有第一阀门，所述第二连通管上连接有第二阀门，所述第一弹性塑料保护套的侧壁固定连接有抽气管，所述抽气管上连接有抽气阀门，所述抽气管远离第一弹性塑料保护套的一端连接有法兰，所述第一弹性塑料保护套与抽气阀门之间设有报警器，所述报警器与抽气管之间固定连接有固定盒，所述报警器靠近抽气管的一端活动连接有触发开关，且触发开关位于固定盒的内侧，所述抽气管上连接有与触发开关相匹配的球形弹性塑料保护套，且球形弹性塑料保护套与抽气管连通，可以有效实现及时发现化学气相沉积炉漏气的效果，减少沉积过程中外界杂质的掺杂。

优选地，所述第一弹性塑料保护套靠近化学气相沉积炉本体是一侧连接有硅胶垫，方便第一弹性塑料保护套贴附在化学气相沉积炉本体上时保护第一弹性塑料保护套不会被化学气相沉积炉本体弄坏，所述硅胶垫与第一弹性塑料保护套之间连接有荧光垫，方便第一弹性塑料保护套破损时可以及时发现。

优选地，所述第一弹性塑料保护套的外表面连接有防腐涂层，方便使第一弹性塑料保护套不易腐烂。

优选地，所述触发开关为倒U型结构，且触发开关的外侧连接有保护套，方便保护触发开关使其不易损坏，影响触发开关触发灵敏度。

优选地，所述化学气相沉积炉本体的外壁涂设有抗氧化涂层，方便使化学气相沉积炉本体不易生锈。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：