[实用新型]一种MOCVD使用的喷淋头

摘要

一种MOCVD使用的喷淋头，属于半导体技术领域，具体涉及MOCVD外延生产技术领域，在喷淋头外表面设置有匀气网，匀气网为由相互交织的钼丝组成的具有网孔的网体，匀气网的网孔与喷淋头的孔洞相对设置，使经过喷淋头流出的气体正好经过匀气网网孔。本实用新型能很好地降低III族和V族气体在喷淋头表面的预反应，并且喷淋头表面有匀气网的包覆，即便产生反应残留物，也会首先在匀气网上沉积，喷淋头表面始终保持洁净。当匀气网沉积一定的反应残留物后只需更换另一个新的匀气网，不需对喷淋头表面进行清洁，可以大大缩短停机时间，大幅增加MOCVD机台的稼动率。

主权项

1.一种MOCVD使用的喷淋头，包括喷淋头，其特征在于：还包括设置在喷淋头外表面的匀气网，所述匀气网为由相互交织的钼丝组成的具有网孔的网体，所述匀气网的网孔与喷淋头的孔洞相对设置，使经过喷淋头流出的气体正好经过匀气网网孔。