[实用新型]一种基于直角反射镜组的精密位移传感器有效
| 申请号： | 201821128340.2 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN208688435U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张白 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人： | 林辉轮;张玲 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于直角反射镜组的精密位移传感器，所述精密位移传感器包括有激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至第一反射镜组的反射镜一；反射镜二，用于接收反射镜一反射的激光束，且使接收的激光束反射至反射镜三或光电探测器；反射镜三用于接收反射镜二反射的激光束，且使接收的激光束反射至反射镜四；光电探测器，用于接收经反射镜二反射且不再被反射镜三接收的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。该传感器结构简单，测量精度高，便于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 反射镜 激光束 精密位移传感器 光电探测器 反射 激光束反射 直角反射镜 入射位置 本实用新型 测量精度高 传感器结构 被测物体 处理系统 反射镜组 位移变化 变化量 激光源 入射 测量 发射 生产 | ||
【主权项】：
1.一种基于直角反射镜组的精密位移传感器，其特征在于，包括：第一反射镜组，包括反射镜一与反射镜二，所述反射镜一与反射镜二组成夹角为直角的反射镜组；激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至第一反射镜组的反射镜一；所述反射镜二，用于接收反射镜一反射的激光束，且使接收的激光束发生反射；光电探测器，用于接收经反射镜二反射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。
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