[实用新型]一种基于直角反射镜组的精密位移传感器

权利要求书

1.一种基于直角反射镜组的精密位移传感器，其特征在于，包括：

第一反射镜组，包括反射镜一与反射镜二，所述反射镜一与反射镜二组成夹角为直角的反射镜组；

激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至第一反射镜组的反射镜一；

所述反射镜二，用于接收反射镜一反射的激光束，且使接收的激光束发生反射；

光电探测器，用于接收经反射镜二反射的激光束，并测量其入射位置；

处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。

2.根据权利要求1所述的基于直角反射镜组的精密位移传感器，其特征在于，还包括壳体，激光源、光电探测器均固定设置于壳体内，组成一个读数头。

3.根据权利要求2所述的基于直角反射镜组的精密位移传感器，其特征在于,所述读数头为至少三个，且所述至少三个读数头之间的位置关系满足：在测量过程中，至少有一个读数头可以读取到激光束在光电探测器上的入射位置变化量。

4.一种基于直角反射镜组的精密位移传感器，其特征在于，包括：

至少两个第一反射镜组，每个第一反射镜组包括反射镜一与反射镜二，所述反射镜一与反射镜二组成夹角为直角的反射镜组，所述至少两个第一反射镜组沿移动方向依次分布；

至少一个第二反射镜组，每个第二反射镜组包括反射镜三与反射镜四，所述反射镜三与反射镜四组成夹角为直角的反射镜组，所述至少一个第二反射镜组沿移动方向依次分布；

所述反射镜三与反射镜二平行，且所述反射镜四与反射镜一平行；

激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至一个第一反射镜组的反射镜一；

所述反射镜二，用于接收反射镜一反射的激光束，且使接收的激光束发生反射；

所述反射镜三，用于接收反射镜二反射的激光束，且使接收的激光束反射至反射镜四；

所述反射镜四，用于接收反射镜三反射的激光束，且使接收的激光束反射至下一个第一反射镜组的反射镜一；

所述反射镜一，用于接收所述激光源发射的激光束或所述反射镜四反射的激光束，且使接收的激光束反射至反射镜二；

光电探测器，用于接收经反射镜二反射且不再被反射镜三接收的激光束，并测量其入射位置；

处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。

5.根据权利要求4所述的基于直角反射镜组的精密位移传感器，其特征在于，激光源发射的激光束呈45度角入射至反射镜一。

6.根据权利要求4所述的基于直角反射镜组的精密位移传感器，其特征在于，所述至少两个第一反射镜组首尾连接，整体形成长条锯齿状结构。

7.根据权利要求4所述的基于直角反射镜组的精密位移传感器，其特征在于，还包括壳体，激光源、第二反射镜组、光电探测器均固定设置于壳体内，组成一个读数头。

8.根据权利要求7所述的基于直角反射镜组的精密位移传感器，其特征在于，所述读数头为至少五个，且所述至少五个读数头之间的位置关系满足：在测量过程中，至少有一个读数头可以读取到激光束在光电探测器上的入射位置变化量。