[实用新型]化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201821114826.0 | 申请日： | 2018-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN208494501U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 管述哲;刘宣池;张佳;吴咏梅;董孝宇;乔伟;刘发强;马朝伟 | 申请（专利权）人： | 新疆工程学院 |
| 主分类号： | B02C19/00 | 分类号： | B02C19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 830023 新疆维吾尔自治区乌*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了化学机械研磨装置，包括支撑座，所述支撑座上垂直连接有立柱，且立柱焊接在支撑座的一端，所述立柱上远离支撑座的一端垂直连接有移动杆，且移动杆和支撑座平行设置，所述支撑座上设置研磨外壳，且研磨外壳内开设有研磨槽，所述研磨外壳与移动杆之间平行设置有定位板，且定位板的一端焊接在立柱的表面，所述移动杆上靠近定位板的一侧面上开设有滑道，且滑道上活动连接有旋转电机，所述定位板上开设有定位槽，且定位槽为矩形结构。本实用新型中，通过设置动力轴和支撑轴进行连接，可带动研磨棒转动，而且通过设置两组齿轮连接支撑轴，可通过控制一组支撑轴转动，直接带动两组研磨棒进行转动。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑座 定位板 移动杆 研磨 支撑轴 立柱 化学机械研磨装置 转动 本实用新型 垂直连接 平行设置 定位槽 研磨棒 滑道 两组 活动连接有 齿轮连接 矩形结构 立柱焊接 旋转电机 动力轴 研磨槽 内开 焊接 | ||
【主权项】：
1.化学机械研磨装置，包括支撑座(1)，其特征在于，所述支撑座(1)上垂直连接有立柱(2)，且立柱(2)焊接在支撑座(1)的一端，所述立柱(2)上远离支撑座(1)的一端垂直连接有移动杆(3)，且移动杆(3)和支撑座(1)平行设置，所述支撑座(1)上设置研磨外壳(4)，且研磨外壳(4)内开设有研磨槽(5)，所述研磨外壳(4)与移动杆(3)之间平行设置有定位板(6)，且定位板(6)的一端焊接在立柱(2)的表面，所述移动杆(3)上靠近定位板(6)的一侧面上开设有滑道(8)，且滑道(8)上活动连接有旋转电机(13)，所述定位板(6)上开设有定位槽(7)，且定位槽(7)为矩形结构，所述定位槽(7)的两侧内壁上分别设置有齿，且齿沿定位槽(7)的长度方向设置，所述定位槽(7)内平行设置有两组齿轮(11)，且齿轮(11)上的齿分别与定位槽(7)两侧的齿啮合。
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