[实用新型]化学机械研磨装置

权利要求书

1.化学机械研磨装置，包括支撑座(1)，其特征在于，所述支撑座(1)上垂直连接有立柱(2)，且立柱(2)焊接在支撑座(1)的一端，所述立柱(2)上远离支撑座(1)的一端垂直连接有移动杆(3)，且移动杆(3)和支撑座(1)平行设置，所述支撑座(1)上设置研磨外壳(4)，且研磨外壳(4)内开设有研磨槽(5)，所述研磨外壳(4)与移动杆(3)之间平行设置有定位板(6)，且定位板(6)的一端焊接在立柱(2)的表面，所述移动杆(3)上靠近定位板(6)的一侧面上开设有滑道(8)，且滑道(8)上活动连接有旋转电机(13)，所述定位板(6)上开设有定位槽(7)，且定位槽(7)为矩形结构，所述定位槽(7)的两侧内壁上分别设置有齿，且齿沿定位槽(7)的长度方向设置，所述定位槽(7)内平行设置有两组齿轮(11)，且齿轮(11)上的齿分别与定位槽(7)两侧的齿啮合。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述滑道(8)与定位槽(7)之间设置有安装板(12)，且安装板(12)上垂直连接有两组支撑轴(10)，所述支撑轴(10)的一端垂直穿过齿轮(11)的圆心，并延伸至研磨槽(5)内。

3.根据权利要求2所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述支撑轴(10)的一端转动连接在安装板(12)上，且支撑轴(10)的另一端固定连接有研磨棒(9)。

4.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述旋转电机(13)的输出端固定连接有动力轴(15)，且动力轴(15)活动穿过滑道(8)，并垂直设置在安装板(12)上，所述动力轴(15)穿过安装板(12)，并固定连接在一组支撑轴(10)上。

5.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述滑道(8)的长度和定位槽(7)的长度相等，且滑道(8)的两端分别安装有行程开关(14)。

6.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述齿轮(11)固定连接在支撑轴(10)的外侧。