[实用新型]一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置

摘要

本实用新型公开了一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置，包括机架和光刻装置、物料传送装置；光刻装置包括两个不同方向的光刻组件；物料传送装置包括上料输送带、电动分度盘、物料抓取机构和下料输送带；电动分度盘上设有至少一上下料工位、一光刻工位，每个工位上固设有定位座；工作时，物料经上料输送带输送至电动分度盘的侧方，再由吸盘夹爪机构将物料移至电动分度盘的上下料工位的定位座上，电动分度盘将物料旋转到光刻工位进行光刻，再由电动分度盘将物料旋转至上下料工位，最后由吸盘夹爪机构移至下料输送带。该光刻机实现了自动化上下料且可双面同时进行光刻加工，有效提高了生产效率。

主权项

1.一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置，包括机架（1），和设置在机架（1）上的光刻装置（2）、物料传送装置，其特征在于：所述光刻装置（2）包括两个不同方向的光刻组件；所述物料传送装置包括上料输送带（3）、电动分度盘（4）、物料抓取机构（5）和下料输送带（6）；所述电动分度盘（4）呈圆盘状，其上端面沿圆周向均匀设有至少两个一个上下料工位、一个光刻工位，每个所述工位上固设有用于放置物料的定位座（41）；所述物料抓取机构（5）包括横向支架（51）、吸盘夹爪机构（52）、控制吸盘夹爪机构（52）垂直移动的升降气缸（53）和控制吸盘夹爪机构（52）水平移动的横向平移缸（54）；所述横向支架（51）悬空固设于机架（1）的上方，用于安装升降气缸（53）和横向平移缸（54），并限定吸盘夹爪机构（52）横向移动的方向；所述吸盘夹爪机构（52）用于吸取或放开物料；工作时，物料经上料输送带（3）输送至电动分度盘（4）的侧方，再由吸盘夹爪机构（52）在升降气缸（53）和横向平移缸（54）的配合运行下将物料移至电动分度盘（4）的上下料工位的定位座（41）上，电动分度盘（4）将物料旋转到光刻工位，通过两个光刻组件同时对物料的两个面进行光刻后再由电动分度盘（4）将物料旋转至上下料工位，最后由吸盘夹爪机构（52）在升降气缸（53）和横向平移缸（54）的配合运行下从电动分度盘（4）的定位座（41）上取出，移至下料输送带（6）。