[实用新型]电子芯片有效

专利信息
申请号: 201821096026.0 申请日: 2018-07-11
公开(公告)号: CN208580743U 公开(公告)日: 2019-03-05
发明(设计)人: F·朱利恩 申请(专利权)人: 意法半导体(鲁塞)公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;崔卿虎
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 一种电子芯片包括:绝缘体上硅晶体管,至少部分地形成在半导体层中,所述半导体层形成在绝缘层上,所述绝缘层形成在半导体衬底上;第一体衬底晶体管,至少部分地形成在所述半导体衬底中;以及第二体衬底晶体管,至少部分地形成在所述半导体衬底中,所述第二体衬底晶体管包括栅极绝缘体,所述栅极绝缘体具有包括所述绝缘层的部分的边缘,所述第二体衬底晶体管的所述栅极绝缘体在所述边缘处比在所述第二体衬底晶体管的所述栅极绝缘体的中央处更厚,其中所述第一体衬底晶体管具有没有所述绝缘层的部分的栅极绝缘体。
搜索关键词: 衬底 晶体管 栅极绝缘体 绝缘层 半导体 半导体层 电子芯片 绝缘层形成 绝缘体上硅 边缘处 中央处
【主权项】:
1.一种电子芯片,其特征在于,包括:绝缘体上硅晶体管,至少部分地形成在半导体层中,所述半导体层形成在绝缘层上,所述绝缘层形成在半导体衬底上;第一体衬底晶体管,至少部分地形成在所述半导体衬底中;以及第二体衬底晶体管,至少部分地形成在所述半导体衬底中,所述第二体衬底晶体管包括栅极绝缘体,所述栅极绝缘体具有包括所述绝缘层的部分的边缘,所述第二体衬底晶体管的所述栅极绝缘体在所述边缘处比在所述第二体衬底晶体管的所述栅极绝缘体的中央处更厚,其中所述第一体衬底晶体管具有没有所述绝缘层的部分的栅极绝缘体。
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