[实用新型]一种掩膜组件及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201821087922.0 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN208378978U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 张浩瀚;白珊珊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜组件及蒸镀设备。该掩膜组件包括层叠设置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上设置有第一蒸镀开孔，所述第二掩膜板上设置有遮挡区域以及位于所述遮挡区域外围且用于限定蒸镀区域的围边区域，所述围边区域内设置有第二蒸镀开孔，在所述围边区域内，所述第一蒸镀开孔在所述第二掩膜板上的正投影位于所述第二蒸镀开孔内。该掩膜组件，在张网过程中，遮挡区域不会影响第一蒸镀开孔的精度，从而，蒸镀材料始终可以通过第一蒸镀开孔蒸镀到OLED像素位置，避免了张网过程引起的蒸镀位置不精确，保证了蒸镀效果，避免了蒸镀混色，提高了显示面板的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 开孔 掩膜板 掩膜组件 遮挡区域 蒸镀设备 张网 本实用新型 层叠设置 显示面板 蒸镀材料 正投影 混色 外围 保证 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括层叠设置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上设置有第一蒸镀开孔，所述第二掩膜板上设置有遮挡区域以及位于所述遮挡区域外围且用于限定蒸镀区域的围边区域，所述围边区域内设置有第二蒸镀开孔，在所述围边区域内，所述第一蒸镀开孔在所述第二掩膜板上的正投影位于所述第二蒸镀开孔内。
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