[实用新型]一种掩膜组件及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201821087922.0 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN208378978U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 张浩瀚;白珊珊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀 开孔 掩膜板 掩膜组件 遮挡区域 蒸镀设备 张网 本实用新型 层叠设置 显示面板 蒸镀材料 正投影 混色 外围 保证 | ||
1.一种掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括层叠设置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上设置有第一蒸镀开孔，所述第二掩膜板上设置有遮挡区域以及位于所述遮挡区域外围且用于限定蒸镀区域的围边区域，所述围边区域内设置有第二蒸镀开孔，在所述围边区域内，所述第一蒸镀开孔在所述第二掩膜板上的正投影位于所述第二蒸镀开孔内。
2.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，在所述围边区域内，所述第二蒸镀开孔与所述第一蒸镀开孔一一对应设置。
3.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二蒸镀开孔的横截面形状与所述第一蒸镀开孔的横截面形状相同。
4.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二掩膜板的厚度大于所述第一掩膜板的厚度。
5.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二蒸镀孔沿蒸镀方向呈收缩状。
6.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述遮挡区域内设置有凹槽。
7.根据权利要求6所述的掩膜组件，其特征在于，所述凹槽的深度小于或等于所述第二掩膜板厚度的1/2。
8.根据权利要求6所述的掩膜组件，其特征在于，所述凹槽的数量为多个，多个所述凹槽在所述遮挡区域内均匀布置。
9.根据权利要求6所述的掩膜组件，其特征在于，所述凹槽的横截面形状与所述第二蒸镀孔的横截面形状相同。
10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1～9中任意一项所述的掩膜组件，还包括蒸发源，所述第二掩膜板朝向所述蒸发源方向设置。
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