[实用新型]腔体控温装置有效
| 申请号： | 201821085689.2 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN208815105U | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 陈君 | 申请（专利权）人： | 宁波涂冠镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 叶栋 |
| 地址： | 315000 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种腔体控温装置，用于PVD法真空镀膜，其特征在于，包括：腔体；所述腔体的底部设有引出口；温控回路，设置于所述腔体的内侧，并通过所述引出口引出至所述腔体外；检测单元，设置于所述腔体的外侧；控制单元，设置于所述腔体的外侧，并与所述检测单元信号连接；执行单元，设置于所述腔体的外侧，并与所述控制单元信号连接。该温控装置通过利用共同控制单元在同一温控回路中进行冷却与加热步骤，与传统PVD真空镀膜温控系统相比，其响应速度更快，控温更精确，温度分布更加均匀；并且在同一温控回路中，冷水流体和热水流体可循环工作，能够有效降低能耗，防止资源浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 腔体 温控回路 控温装置 真空镀膜 引出口 有效降低能耗 本实用新型 单元信号 加热步骤 热水流体 温度分布 温控系统 温控装置 信号连接 可循环 检测 控温 流体 种腔 冷却 响应 | ||
【主权项】：
1.一种腔体控温装置，用于PVD法真空镀膜，其特征在于，包括：腔体；所述腔体的底部设有引出口；温控回路，设置于所述腔体的内侧，并通过所述引出口引出至所述腔体外；检测单元，设置于所述腔体的外侧；控制单元，设置于所述腔体的外侧，并与所述检测单元信号连接；执行单元，设置于所述腔体的外侧，并与所述控制单元信号连接。
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