[实用新型]自动化晶片抛光设备有效
| 申请号： | 201821079239.2 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN208601304U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 万明 | 申请（专利权）人： | 苏州赛万玉山智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人： | 陆明耀;顾祥安 |
| 地址： | 215311 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了自动化晶片抛光设备，包括料盘，用于承载工件；抛光机，用于对料盘上的工件进行抛光；上料载具，具有放置至少一个带有待加工工件的料盘的结构；下料载具，具有放置至少一个带有抛光后工件的料盘的结构。本方案设计精巧，结构简单，通过机械手进行料盘的上料和下料来代替人工上料、下料，解决了人工上、下料劳动强度大，安全性差及效率低的问题，节约了人工成本，提高了加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 料盘 下料 晶片抛光设备 抛光 上料 载具 自动化 本实用新型 机械手 承载工件 方案设计 加工工件 加工效率 人工成本 人工上料 抛光机 节约 | ||
【主权项】：
1.自动化晶片抛光设备，其特征在于：包括料盘（1），用于承载至少一个工件；抛光机（2），用于对料盘（1）上的工件进行抛光；上料载具（3），具有放置至少一个带有待加工工件的料盘（1）的结构；下料载具（4），具有放置至少一个带有抛光后工件的料盘（1）的结构；第一机械手（5），至少能够将上料载具（3）中的料盘（1）移动到抛光机（2）中及将抛光机（2）中的料盘（1）移动到下料载具（4）中。
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