[实用新型]一种制备无机化合物薄膜的装置

摘要

本实用新型公开了一种制备无机化合物薄膜的装置，包括制备薄膜装置主体、制备薄膜装置主体一侧的固定机构和制备薄膜装置主体底端的清洁机构，所述固定机构包括固定底座和第一横柱，所述制备薄膜装置主体的一侧顶端设置有固定底座，所述固定底座的表面设置有滑槽，所述滑槽的内部设置有滑块，所述滑块的一侧设置有固定弹簧，所述固定弹簧的一侧设置有挡板；通过滑块和固定弹簧的设置可简化安装第一横柱的过程，只需将第一横柱的一侧对准滑槽向内侧滑动，不仅安装拆卸简单，同时便于检测和维修，节约了时间，同时降低了工作难度，增加了工作效率和经济效益，不仅使得薄膜更加美观，减低了工作难度，增加了经济效益。

主权项

1.一种制备无机化合物薄膜的装置，包括制备薄膜装置主体(9)、制备薄膜装置主体(9)一侧的固定机构和制备薄膜装置主体(9)底端的清洁机构，其特征在于：所述固定机构包括固定底座(3)和第一横柱(12)，所述制备薄膜装置主体(9)的一侧顶端设置有固定底座(3)，所述固定底座(3)的表面设置有滑槽(4)，所述滑槽(4)的内部设置有滑块(17)，所述滑块(17)的一侧设置有固定弹簧(16)，所述固定弹簧(16)的一侧设置有挡板(15)，所述固定底座(3)的内部相对于第一横柱(12)的位置处设置有固定孔(18)，且固定孔(18)和固定底座(3)为一体式结构。