[实用新型]一种制备无机化合物薄膜的装置

权利要求书

1.一种制备无机化合物薄膜的装置，包括制备薄膜装置主体(9)、制备薄膜装置主体(9)一侧的固定机构和制备薄膜装置主体(9)底端的清洁机构，其特征在于：所述固定机构包括固定底座(3)和第一横柱(12)，所述制备薄膜装置主体(9)的一侧顶端设置有固定底座(3)，所述固定底座(3)的表面设置有滑槽(4)，所述滑槽(4)的内部设置有滑块(17)，所述滑块(17)的一侧设置有固定弹簧(16)，所述固定弹簧(16)的一侧设置有挡板(15)，所述固定底座(3)的内部相对于第一横柱(12)的位置处设置有固定孔(18)，且固定孔(18)和固定底座(3)为一体式结构。

2.根据权利要求1所述的一种制备无机化合物薄膜的装置，其特征在于：所述清洁机构包括固定柱(6)和第一刮板(7)，所述固定柱(6)的中间设置有第一刮板(7)，所述第一刮板(7)的顶端设置有第二刮板(21)，所述第二刮板(21)的一侧设置有伸缩弹簧(20)，所述伸缩弹簧(20)的一侧顶端设置有挤压弹簧(19)。

3.根据权利要求1所述的一种制备无机化合物薄膜的装置，其特征在于：所述制备薄膜装置主体(9)的两侧底端设置有支柱(5)，所述支柱(5)的顶端设置有固定底座(3)，所述固定底座(3)的顶端设置有固定座(1)，所述支柱(5)的底端设置有万向轮(8)。

4.根据权利要求3所述的一种制备无机化合物薄膜的装置，其特征在于：所述固定底座(3)的表面设置有操作台(10)，且操作台(10)镶嵌在固定底座(3)的表面，所述操作台(10)的顶端一侧设置有固定螺栓(11)。

5.根据权利要求3所述的一种制备无机化合物薄膜的装置，其特征在于：所述固定座(1)的中间设置有第三横柱(14)，所述第三横柱(14)的底端设置有第二横柱(13)，所述第二横柱(13)的底端设置有第一横柱(12)。