[实用新型]一种单晶硅片退火冷却箱有效
| 申请号： | 201821057852.4 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN208379053U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 何翠翠;韩刚;孙鹏 | 申请（专利权）人： | 锦州神工半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 李烨 |
| 地址： | 121001 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅片退火冷却箱。包括：进风装置，用于将空气冷却并引入腔室内；腔室，其设置在所述进风装置的一侧，并与所述进风装置连接，在所述腔室内设有单晶硅片载物架，在所述腔室前端面设有进料口，腔室用于放置和固定待冷却的单晶硅片；以及出风装置，其与所述腔室连接，并位于所述进风装置的对侧，用于将空气排出腔室外；其中，所述单晶硅片载物架包括：螺旋形支撑架，用于承托待冷却的单晶硅片；伸缩装置，其与所述螺旋形支撑架连接，用于带动所述螺旋形支撑架前后移动本实用新型的有益效果是：能够快速冷却单晶硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅片 进风装置 腔室 螺旋形支撑架 退火 冷却箱 载物架 冷却 室内 本实用新型 出风装置 快速冷却 伸缩装置 进料口 排出腔 前端面 承托 后移 室外 引入 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅片退火冷却箱，其特征在于，包括：进风装置，用于将空气冷却并引入腔室内；腔室，其设置在所述进风装置的一侧，并与所述进风装置连接，在所述腔室内设有单晶硅片载物架，在所述腔室前端面设有进料口，腔室用于放置和固定待冷却的单晶硅片；以及出风装置，其与所述腔室连接，并位于所述进风装置的对侧，用于将空气排出腔室外；其中，所述单晶硅片载物架包括：螺旋形支撑架，用于承托待冷却的单晶硅片；伸缩装置，其与所述螺旋形支撑架连接，用于带动所述螺旋形支撑架前后移动。
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