[实用新型]一种单晶硅片退火冷却箱

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅片退火冷却箱。包括：进风装置，用于将空气冷却并引入腔室内；腔室，其设置在所述进风装置的一侧，并与所述进风装置连接，在所述腔室内设有单晶硅片载物架，在所述腔室前端面设有进料口，腔室用于放置和固定待冷却的单晶硅片；以及出风装置，其与所述腔室连接，并位于所述进风装置的对侧，用于将空气排出腔室外；其中，所述单晶硅片载物架包括：螺旋形支撑架，用于承托待冷却的单晶硅片；伸缩装置，其与所述螺旋形支撑架连接，用于带动所述螺旋形支撑架前后移动本实用新型的有益效果是：能够快速冷却单晶硅片。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片制造领域，特别涉及一种单晶硅片退火冷却箱。

背景技术

单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

在单晶硅片的处理过程有一步退火工艺，目的是将晶体中的氧施主效应去除，该现象让硅片出现电阻率虚高的现象，针对于此，必须要进行退火。针对于退火工艺进程中的一个冷却过程，以前都是直接放置在室外，用风扇进行冷却。这种冷却方式，受到环境限制很多，如果室温较高，降温的效果就不会很明显。

一种能够提高退火稳定性的硅片退火冷却箱成为解决问题的关键。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片退火冷却箱，能够快速冷却单晶硅片。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，包括：

进风装置，用于将空气冷却并引入腔室内；

腔室，其设置在所述进风装置的一侧，并与所述进风装置连接，在所述腔室内设有单晶硅片载物架，在所述腔室前端面设有进料口，腔室用于放置和固定待冷却的单晶硅片；以及

出风装置，其与所述腔室连接，并位于所述进风装置的对侧，用于将空气排出腔室外；

其中，所述单晶硅片载物架包括：

螺旋形支撑架，用于承托待冷却的单晶硅片；

伸缩装置，其与所述螺旋形支撑架连接，用于带动所述螺旋形支撑架前后移动。

优选的是，所述螺旋形支撑架包括：

多圈螺旋圈体，其水平放置，能够间隔放置多片待冷却的单晶硅片；

弧形托板，其设置所述多圈螺旋圈体的下部，并与所述螺旋圈体相配合，用于承托冷却的单晶硅片；

其中，在所述弧形托板上设有多道用于放置单晶硅片的凹槽。

优选的是，所述伸缩装置包括：

滑槽，其设置在所述腔室的底面上；

滑块，其设置在所述弧形托板的下端，并与所述滑槽相匹配，滑动支撑所述弧形托板；

伸缩电机，其设置在所述腔室内位于所述滑槽的后方，伸缩电机输出轴与所述滑块连接，用于带动所述滑块在所述滑槽内轴向移动；

其中，在所述滑块与滑槽之间设有用于减少摩擦力的直线轴承。

优选的是，所述进风装置包括：

进风通道，其连接所述腔室；

进风机，其设置在所述进风通道的前端，用于将空气引入进风通道内；

冷冻机，其设置在所述进风通道的中部，用于降低空气的温度。

优选的是，所述出风装置包括：

排风通道，其连接所述腔室；