[实用新型]电离规的保护装置有效
申请号: | 201821008174.2 | 申请日: | 2018-06-27 |
公开(公告)号: | CN208400807U | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 马远;廖朝俊;秦钟华;廖均 | 申请(专利权)人: | 江苏振华新云电子有限公司 |
主分类号: | H01J41/04 | 分类号: | H01J41/04 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 陈治位 |
地址: | 225000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供一种电离规的保护装置,涉及电离规技术领域。电离规的保护装置包括:连接管路,连接管路包括第一连接端和第二连接端,第一连接端用于与被测真空度的设备连接,第二连接端用于与电离规连接。电磁阀门,电磁阀门设置于连接管路的靠近第二连接端的部分且能够控制连接管路的通断。传感器,传感器设置于连接管路的靠近第一连接端的部分。放大电路,传感器与电磁阀门通过放大电路电联接。电离规的保护装置用于热阴极电离真空计时,能在真空度波动时,切断设备真空腔体与热阴极电离规的连接,从而有效地保护热阴极电离规,提高热阴极电离规的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 电离规 保护装置 连接管路 连接端 热阴极电离规 电磁阀门 放大电路 传感器 本实用新型 传感器设置 真空度波动 控制连接 切断设备 设备连接 使用寿命 真空腔体 电联接 热阴极 有效地 电离 通断 计时 | ||
【主权项】:
1.一种电离规的保护装置,其特征在于,包括:连接管路,所述连接管路包括第一连接端和第二连接端,所述第一连接端用于与被测真空度的设备连接,所述第二连接端用于与电离规连接;电磁阀门,所述电磁阀门设置于所述连接管路的靠近所述第二连接端的部分且能够控制所述连接管路的通断;热电阻传感器,所述热电阻传感器设置于所述连接管路的靠近所述第一连接端的部分;第一放大电路,所述热电阻传感器与所述电磁阀门通过所述第一放大电路电联接;所述电离规的保护装置包括所述电磁阀门开启的第一状态,电离规能够透过所述连接管路测量被测设备的真空度;所述热电阻传感器温度降低时,所述电离规的保护装置从所述第一状态进入到所述电磁阀门关闭的第二状态,阻止气体分子从所述第一连接端扩散到所述第二连接端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏振华新云电子有限公司,未经江苏振华新云电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821008174.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于溅射沉积的沉积源和真空沉积设备
- 下一篇:气动辅助敞开式离子化装置