[实用新型]电离规的保护装置

说明书

本实用新型提供一种电离规的保护装置，涉及电离规技术领域。电离规的保护装置包括：连接管路，连接管路包括第一连接端和第二连接端，第一连接端用于与被测真空度的设备连接，第二连接端用于与电离规连接。电磁阀门，电磁阀门设置于连接管路的靠近第二连接端的部分且能够控制连接管路的通断。传感器，传感器设置于连接管路的靠近第一连接端的部分。放大电路，传感器与电磁阀门通过放大电路电联接。电离规的保护装置用于热阴极电离真空计时，能在真空度波动时，切断设备真空腔体与热阴极电离规的连接，从而有效地保护热阴极电离规，提高热阴极电离规的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及电离规技术领域，具体而言，涉及一种电离规的保护装置。

背景技术

在低压强气体中，气体分子被电离生成的离子数与气体压强成正比。电离真空计是基于在一定条件下，待测气体的压力与待测气体电离后产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器，其最高的真空度测量灵敏度可达1E-9pa，如经过改良的Bayard-Alpert热阴极电离规。热阴极电离规是通过热阴极发射电子的方式电离气体的，通常为三极管结构，管内有阴极、栅极和收集极。收集极电位相对于阴极电负电位；栅极相对于阴极电正电位。当电离规管通电加热后，阴极发射电子，在电子到达栅极的过程中，与气体分子碰撞而产生正离子和电子的电离现象。当发射电流一定时，正离子数目与被测气体压强成正比。正离子被收集极收集后，经测量电路放大，可由批示电表读出所要测量的真空度。真空度测量灵敏度越高的电离规，制造结构越复杂，制造要求也越高，价格也越贵。

为使电离规管的阴极发射电子，阴极需要加热到较高的温度。通常阴极采用耐高温的钨材料加工而成。即使这样，电离真空计在使用中仍然存在问题：

在电离真空计的使用过程中，如果出现大量漏气或其它原因使真空度突然下降(p>0.1Pa)时，电离规管的阴极灯丝将迅速氧化而烧毁。这种情况在被测气体是空气或带氧化性气体时，会更加明显。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电离规的保护装置，可有效防止电离规管的阴极灯丝因氧化而烧毁。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实用新型的实施例提供了一种电离规的保护装置，包括：

连接管路，所述连接管路包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端用于与被测真空度的设备连接，所述第二连接端用于与电离规连接；

电磁阀门，所述电磁阀门设置于所述连接管路的靠近所述第二连接端的部分且能够控制所述连接管路的通断；

热电阻传感器，所述热电阻传感器设置于所述连接管路的靠近所述第一连接端的部分；

第一放大电路，所述热电阻传感器与所述电磁阀门通过所述第一放大电路电联接；

所述电离规的保护装置包括所述电磁阀门开启的第一状态，电离规能够透过所述连接管路测量被测设备的真空度；所述热电阻传感器温度降低时，所述电离规的保护装置从所述第一状态进入到所述电磁阀门关闭的第二状态，阻止气体分子从所述第一连接端扩散到所述第二连接端。

另外，根据本实用新型的实施例提供的电离规的保护装置，还可以具有如下附加的技术特征：

在本实用新型的可选实施例中，所述连接管路具有螺旋管段或波浪管段，所述螺旋管段或所述波浪管段位于所述电磁阀门与所述热电阻传感器之间。

在本实用新型的可选实施例中，所述螺旋管段或所述波浪管段的通径为3-50mm，螺旋管道的螺旋数量为1-5个，或者波浪管道的波浪数量为1-5个。

在本实用新型的可选实施例中，所述连接管路的内径为8mm。