[实用新型]微机电换能器

摘要

本公开提供了一种微机电换能器。该微机电换能器包括具有彼此相对的第一表面和第二表面的半导体本体。多个沟槽在半导体本体中从第一表面朝向第二表面延伸，其包括具有沿着第一轴线的相应主延伸方向的第一对沟槽以及具有沿着第二轴线的相应主延伸方向的第二对沟槽，第二轴线与第一轴线正交。第一压阻式传感器和第二压阻式传感器在分别被布置在第一对沟槽和第二对沟槽之间的半导体本体的第一表面处延伸。第一压阻式传感器、第二压阻式传感器和多个沟槽形成有源区。第一结构体被机械地耦接到半导体本体的第一表面以形成包围有源区的第一密封腔体。通过本公开，允许获得基于硅技术的多轴力传感器，其能够测量法向力和面外剪切力两者。

主权项

1.一种微机电换能器，其特征在于，包括：半导体本体，其具有彼此相对并且平行于水平平面的第一表面和第二表面；多个沟槽，其在所述半导体本体中从所述第一表面朝向所述第二表面延伸，所述多个沟槽包括第一对沟槽和第二对沟槽，所述第一对沟槽具有在所述水平平面上的沿着第一轴线的相应主延伸方向，所述第二对沟槽具有在所述水平平面上的沿着第二轴线的相应主延伸方向，所述第二轴线不同于所述第一轴线并且与所述第一轴线形成一定角度；第一压阻式传感器和第二压阻式传感器，所述第一压阻式传感器和所述第二压阻式传感器在所述半导体本体的所述第一表面处延伸并且分别被布置在所述第一对沟槽和所述第二对沟槽之间，其中所述第一压阻式传感器、所述第二压阻式传感器和所述多个沟槽形成有源区；以及第一结构体，其被机械地耦接到所述半导体本体的所述第一表面以形成包围所述有源区的第一密封腔体。