[实用新型]微机电换能器

权利要求书

1.一种微机电换能器，其特征在于，包括：

半导体本体，其具有彼此相对并且平行于水平平面的第一表面和第二表面；

多个沟槽，其在所述半导体本体中从所述第一表面朝向所述第二表面延伸，所述多个沟槽包括第一对沟槽和第二对沟槽，所述第一对沟槽具有在所述水平平面上的沿着第一轴线的相应主延伸方向，所述第二对沟槽具有在所述水平平面上的沿着第二轴线的相应主延伸方向，所述第二轴线不同于所述第一轴线并且与所述第一轴线形成一定角度；

第一压阻式传感器和第二压阻式传感器，所述第一压阻式传感器和所述第二压阻式传感器在所述半导体本体的所述第一表面处延伸并且分别被布置在所述第一对沟槽和所述第二对沟槽之间，其中所述第一压阻式传感器、所述第二压阻式传感器和所述多个沟槽形成有源区；以及

第一结构体，其被机械地耦接到所述半导体本体的所述第一表面以形成包围所述有源区的第一密封腔体。

2.根据权利要求1所述的微机电换能器，其特征在于，其中所述第二轴线正交于所述第一轴线。

3.根据权利要求1所述的微机电换能器，其特征在于，其中：

所述第一对沟槽包括沿着彼此重合的相应的主延伸方向被对齐的两个沟槽，所述第一压阻式传感器沿着所述第一对沟槽的所述重合的主延伸方向被对齐；以及

所述第二对沟槽包括沿着彼此重合的相应的主延伸方向被对齐的两个沟槽，所述第二压阻式传感器沿着所述第二对沟槽的所述重合的主延伸方向被对齐。

4.根据权利要求1所述的微机电换能器，其特征在于，其中所述第一对沟槽和所述第二对沟槽中的每一对沟槽包括两个沟槽，所述两个沟槽沿着平行于彼此并且彼此不同的相应的主延伸方向被对齐。

5.根据权利要求1所述的微机电换能器，其特征在于，进一步包括：

第三压阻式传感器和第四压阻式传感器；

其中所述多个沟槽包括平行于彼此并且平行于所述第一对沟槽的第三对沟槽以及平行于彼此并且平行于所述第二对沟槽的第四对沟槽；以及

其中所述第三压阻式传感器和所述第四压阻式传感器被分别布置在所述第三对沟槽和所述第四对沟槽之间。

6.根据权利要求5所述的微机电换能器，其特征在于，其中：

所述第三对沟槽包括沿着彼此重合的相应的主延伸方向被对齐的两个沟槽，所述第三压阻式传感器沿着所述第三对沟槽的所述重合的主延伸方向被对齐；以及

所述第四对沟槽包括沿着彼此重合的相应的主延伸方向被对齐的两个沟槽，所述第四压阻式传感器沿着所述第四对沟槽的所述重合的主延伸方向被对齐。

7.根据权利要求5所述的微机电换能器，其特征在于，其中所述第三对沟槽和所述第四对沟槽中的每一对沟槽包括两个沟槽，所述两个沟槽沿着平行于彼此并且彼此不同的相应的主延伸方向被对齐。

8.根据权利要求5所述的微机电换能器，其特征在于，其中：

所述第一压阻式传感器和所述第三压阻式传感器相对于平行于所述第一轴线并穿过所述第一密封腔体的几何中心的第一对称轴线对称，使得沿着所述第二轴线施加的正向力分量向所述第一压阻式传感器引发压缩平面应力，并向所述第三压阻式传感器引发拉伸平面应力，而沿着所述第二轴线施加的负向力分量向所述第一压阻式传感器引发拉伸平面应力，并向所述第三压阻式传感器引发压缩平面应力；

所述第二压阻式传感器和所述第四压阻式传感器相对于平行于所述第二轴线并穿过所述第一密封腔体的所述几何中心的第二对称轴线对称，使得沿着所述第一轴线施加的正向力分量向所述第二压阻式传感器引发压缩平面应力，并向所述第四压阻式传感器引发拉伸平面应力，而沿着所述第一轴线施加的负向力分量向所述第二压阻式传感器引发拉伸平面应力，并向所述第四压阻式传感器引发压缩平面应力。