[实用新型]一种高纯硅烷灌装设备

摘要

本实用新型公开了一种高纯硅烷灌装设备，包括底座、机架和传送带，底座的顶部分别设置有机架和传送带，该种高纯硅烷灌装设备设置有出气管和回收管，第一阀门打开原料气体沿进气管、软管和出气管充入罐内，罐内气体由下至上将罐内的气体充满，并将内部残留的杂气推至上层并沿回收管、软管和排气管排出至气体除杂室，当气流计量器显示灌装体积达到钢瓶的容积时继续灌装，多余的气体从回收管、软管和排气管排出至气体除杂室，可进一步将瓶内的杂气除去，提升瓶内气体纯净度，同时还设置有第一夹板和第二夹板，第二气泵通过第二活塞推动第一夹板，向第二夹板方向运动，第二夹板与第一夹板将钢瓶夹紧，保证在灌装时钢瓶不倾倒。

主权项

1.一种高纯硅烷灌装设备，包括底座(1)、机架(2)、传送带(3)和回收管(19)，其特征在于：所述底座(1)的顶部分别设置有机架(2)和传送带(3)，且所述传送带(3)的位于底座(1)的顶部中间，所述传送带(3)的顶部分别设置有第一夹板(6)和第二夹板(17)，且所述第一夹板(6)贯穿传送带(3)的顶部并延伸至传送带(3)的底部，所述传送带(3)的内部设置有弹簧(14)，所述传送带(3)与第一夹板(6)的一侧通过弹簧(14)相连接，所述底座(1)的内壁固定有第二气缸(16)，所述第二气缸(16)的输出端通过第二活塞(15)与第一夹板(6)的另一侧下方相连接，所述底座(1)的内部下方设置有电机(4)，所述电机(4)的输出端通过皮带(5)与传送带(3)相连接，所述机架(2)的顶部分别贯穿有进气管(11)和排气管(9)，所述进气管(11)的外表面设置有第一阀门(13)与气流计量器(12)，所述机架(2)的内部固定有第一气缸(8)，所述第一气缸(8)的输出端通过第一活塞(10)连接有灌装头(20)，所述灌装头(20)的底部分别设置有出气管(7)和第三阀门(18)，且所述出气管(7)贯穿灌装头(20)的底部并延伸至灌装头(20)的一侧，所述回收管(19)贯穿灌装头(20)的底部并延伸至灌装头(20)的另一侧，所述回收管(19)与出气管(7)的顶端均通过软管(21)分别与排气管(9)和进气管(11)相连接，所述回收管(19)的外表面设置有第三阀门(18)。