[实用新型]一种高纯硅烷灌装设备

说明书

本实用新型公开了一种高纯硅烷灌装设备，包括底座、机架和传送带，底座的顶部分别设置有机架和传送带，该种高纯硅烷灌装设备设置有出气管和回收管，第一阀门打开原料气体沿进气管、软管和出气管充入罐内，罐内气体由下至上将罐内的气体充满，并将内部残留的杂气推至上层并沿回收管、软管和排气管排出至气体除杂室，当气流计量器显示灌装体积达到钢瓶的容积时继续灌装，多余的气体从回收管、软管和排气管排出至气体除杂室，可进一步将瓶内的杂气除去，提升瓶内气体纯净度，同时还设置有第一夹板和第二夹板，第二气泵通过第二活塞推动第一夹板，向第二夹板方向运动，第二夹板与第一夹板将钢瓶夹紧，保证在灌装时钢瓶不倾倒。

技术领域

本实用新型涉及气体灌装技术领域，具体为一种高纯硅烷灌装设备。

背景技术

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物，因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体，硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。

现有的高纯硅烷灌装设备，为保证硅烷气体的纯净度，在灌装前通过真空泵将罐体内的气体抽出形成真空，再向罐体内充入硅烷气体，但是以目前的真空技术不能完全达到真空，罐体内还是残留有部分气体杂质，并且在自动化灌装时，罐体高度较长在灌装时容易倾倒，造成灌装失败。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高纯硅烷灌装设备，以解决上述背景技术中提出真空处理除杂效果不佳，罐体高度较高易倾倒的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯硅烷灌装设备，包括底座、机架、传送带和回收管，所述底座的顶部分别设置有机架和传送带，且所述传送带的位于底座的顶部中间，所述传送带的顶部分别设置有第一夹板和第二夹板，且所述第一夹板贯穿传送带的顶部并延伸至传送带的底部，所述传送带的内部设置有弹簧，所述传送带与第一夹板的一侧通过弹簧相连接，所述底座的内壁固定有第二气缸，所述第二气缸的输出端通过第二活塞与第一夹板的另一侧下方相连接，所述底座的内部下方设置有电机，所述电机的输出端通过皮带与传送带相连接，所述机架的顶部分别贯穿有进气管和排气管，所述进气管的外表面设置有第一阀门与气流计量器，所述机架的内部固定有第一气缸，所述第一气缸的输出端通过第一活塞连接有灌装头，所述灌装头的底部分别设置有出气管和第三阀门，且所述出气管贯穿灌装头的底部并延伸至灌装头的一侧，所述回收管贯穿灌装头的底部并延伸至灌装头的另一侧，所述回收管与出气管的顶端均通过软管分别与排气管和进气管相连接，所述回收管的外表面设置有第三阀门。

优选地，所述第一夹板与第二夹板均呈“半圆弧状”，且所述一夹板与第二夹板以传送带的宽度中心线为中心对称排布于传送带的顶部。

优选地，所述出气管的长度大于回收管的长度，且所述出气管与回收管均采用不锈钢制作而成。

优选地，所述第一夹板与第二夹板均设置有多片，且所述第一夹板与第二夹板平行排布于传送带的顶部。

优选地，所述第一夹板的两侧通过凸块卡接于传送带的内部。

优选地，所述第一活塞贯穿机架的底部，且其底部的灌装头位于机架的下方，同时所述灌装头的底部设置有密封圈。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种高纯硅烷灌装设备设置有出气管和回收管，第一阀门打开原料气体沿进气管、软管和出气管充入罐内，罐内气体由下至上将罐内的气体充满，并将内部残留的杂气推至上层并沿回收管、软管和排气管排出至气体除杂室，当气流计量器显示灌装体积达到钢瓶的容积时继续灌装，多余的气体从回收管、软管和排气管排出至气体除杂室，可进一步将瓶内的杂气除去，提升瓶内气体纯净度，同时还设置有第一夹板和第二夹板，第二气泵通过第二活塞推动第一夹板，向第二夹板方向运动，第二夹板与第一夹板将钢瓶夹紧，保证在灌装时钢瓶不倾倒。