[实用新型]一种超高温高真空管式热处理系统有效
| 申请号： | 201820979205.2 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN208501049U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 凤旭;徐晓伟;周佳崎 | 申请（专利权）人： | 上海微行炉业有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/773 | 分类号： | C21D1/773;C21D9/00;C21D11/00 |
| 代理公司： | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人： | 张坚 |
| 地址： | 201601 上海市松江区泖*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超高温高真空管式热处理系统，包括电控系统、设于电控系统上的热处理系统、分设于电控系统两侧的真空系统和供气系统，热处理系统包括加热炉体、设于加热炉体内的数层氧化铝保温层、横向贯穿加热炉体的真空管；真空系统包括依次连接的前级机械泵和分子泵，分子泵与真空管一端相连；供气系统包括依次连接的质量流量控制仪和混气罐，质量流量控制仪分别与多个气源相连，混气罐连接至真空管。该系统通过将多个系统集成为一台整机，占地面积小、布置合理，操作维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理系统 真空管 电控系统 质量流量控制仪 高真空管 供气系统 加热炉体 依次连接 真空系统 超高温 分子泵 混气罐 加热炉 氧化铝保温层 本实用新型 前级机械泵 操作维护 横向贯穿 气源 分设 整机 体内 | ||
【主权项】：
1.一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：包括电控系统、设于电控系统上的热处理系统、分设于电控系统两侧的真空系统和供气系统，热处理系统包括加热炉体、设于加热炉体内的数层氧化铝保温层、横向贯穿加热炉体的真空管；真空系统包括依次连接的前级机械泵和分子泵，分子泵与真空管一端相连；供气系统包括依次连接的质量流量控制仪和混气罐，质量流量控制仪分别与多个气源相连，混气罐连接至真空管。
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