[实用新型]一种超高温高真空管式热处理系统

权利要求书

1.一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：包括电控系统、设于电控系统上的热处理系统、分设于电控系统两侧的真空系统和供气系统，热处理系统包括加热炉体、设于加热炉体内的数层氧化铝保温层、横向贯穿加热炉体的真空管；真空系统包括依次连接的前级机械泵和分子泵，分子泵与真空管一端相连；供气系统包括依次连接的质量流量控制仪和混气罐，质量流量控制仪分别与多个气源相连，混气罐连接至真空管。

2.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：所述氧化铝保温层为呈阶梯式的内外三层。

3.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：所述分子泵通过挡板阀与真空管一端相连。

4.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：所述混气罐与真空管连接处位于挡板阀与真空管一端之间。

5.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：所述电控系统包括触摸控制屏、真空检测仪表、分子泵启动仪表、质量流量控制仪表。

6.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：所述加热炉体顶部还设有报警灯。

7.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：所述真空管为刚玉管。