[实用新型]一种用于极紫外光光刻机的基础座

摘要

本实用新型公开了一种用于极紫外光光刻机的基础座，本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，能满足极紫外光光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求，以及提供其配套设备的安装环境，确保了中国内陆地区在引进极紫外光光刻机的时候，能够提供极紫外光光刻机正常运行所需要的环境，从而保证了极紫外光光刻机的顺利引进以及安装运行，对中国内陆地区的整个电子厂特别是半导体厂，使其中国内陆地区整个行业的半导体产品制作工艺提升得到很好改善，并且同时也加速了中国内陆的半导体制造工艺达到国际水平的进程。

主权项

1.一种用于极紫外光光刻机的基础座，其特征在于：包括基础座本体(1)、晶圆处理单元基础座(2)、主体单元基础座一(3)、主体单元基础座二(4)、光源基础座(5)和周边配件钢框(6)，所述晶圆处理单元基础座(2)、主体单元基础座一(3)、主体单元基础座二(4)、光源基础座(5)和周边配件钢框(6)依次设置在基础座本体(1)中；所述晶圆处理单元基础座(2)的具体结构为：包括晶圆处理单元基础座防震脚配件A(21)、晶圆处理单元基础座面体(22)、晶圆处理单元基础座防震脚配件B(23)、晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢(24)、晶圆处理单元基础座侧面连接板(25)和晶圆处理单元基础座钢构底座体(26)；所述晶圆处理单元基础座面体(22)固定连接在晶圆处理单元基础座钢构底座体(26)的上端；所述晶圆处理单元基础座面体(22)上表面上分别设有一个晶圆处理单元基础座防震脚配件A(21)和晶圆处理单元基础座防震脚配件B(23)；所述晶圆处理单元基础座面体(22)四周外侧表面上端均固定连接有一个晶圆处理单元基础座侧面连接板(25)；所述晶圆处理单元基础座面体(22)四周外侧表面中端上均固定连接有一个晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢(24)；所述主体单元基础座一(3)的具体结构为：包括主体单元基础座一防震脚配件A(31)、主体单元基础座一防震脚配件B(32)、主体单元基础座一侧面连接板(33)、主体单元基础座一内嵌配件C型钢(34)、主体单元基础座一钢构底座体(35)和主体单元基础座一面体(36)；所述主体单元基础座一面体(36)固定连接在主体单元基础座一钢构底座体(35)上表面；所述主体单元基础座一面体(36)上表面上分别设有两个主体单元基础座一防震脚配件A(31)和一个主体单元基础座一防震脚配件B(32)，两个所述主体单元基础座一防震脚配件A(31)位于主体单元基础座一防震脚配件B(32)的两侧；所述主体单元基础座一钢构底座体(35)四周外侧表面上端均固定连接有一个主体单元基础座一侧面连接板(33)；所述主体单元基础座一钢构底座体(35)四周外侧表面中端均固定连接有一个主体单元基础座一内嵌配件C型钢(34)；所述主体单元基础座二(4)的具体结构为：包括主体单元基础座二主面体(41)、主体单元基础座二辅面体(42)、主体单元基础座二侧面连接板(43)、主体单元基础座二内嵌配件C型钢(44)和主体单元基础座二钢构底座体(45)；所述主体单元基础座二辅面体(42)为两个，分别固定连接在主体单元基础座二主面体(41)的两侧；所述主体单元基础座二钢构底座体(45)固定连接在主体单元基础座二主面体(41)和主体单元基础座二辅面体(42)的下方；所述主体单元基础座二主面体(41)和主体单元基础座二辅面体(42)组合成的整体四周外表面上端均固定连接有一个主体单元基础座二侧面连接板(43)；所述主体单元基础座二主面体(41)和主体单元基础座二辅面体(42)组合成的整体四周外表面中端上均固定连接有一个主体单元基础座二内嵌配件C型钢(44)。