[实用新型]一种用于极紫外光光刻机的基础座

说明书

本实用新型公开了一种用于极紫外光光刻机的基础座，本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，能满足极紫外光光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求，以及提供其配套设备的安装环境，确保了中国内陆地区在引进极紫外光光刻机的时候，能够提供极紫外光光刻机正常运行所需要的环境，从而保证了极紫外光光刻机的顺利引进以及安装运行，对中国内陆地区的整个电子厂特别是半导体厂，使其中国内陆地区整个行业的半导体产品制作工艺提升得到很好改善，并且同时也加速了中国内陆的半导体制造工艺达到国际水平的进程。

技术领域

本实用新型涉及光刻机基础座技术领域，特别涉及一种用于极紫外光光刻机的基础座。

背景技术

在电子工业厂内特别是在半导体行业中，极紫外光光刻机是该行业中最为昂贵和最为精密的设备，也是半导体产品制造工艺水平高低决定性设备；该设备对安装条件极为严格；目前中国内陆的电子工业厂，特别是半导体厂，都还没有引进该设备。一方面是其价格及其昂贵以及目前中国内陆的半导体制造工艺无法达到，另外一方面目前中国内陆地区还没有能够提供给极紫外光光刻机设备来配套的极紫外光基础座供应商。从而导致中国内陆地区目前半导体制造工艺无法进一步提升，从而影响了国内的半导体行业整体制造工艺的提升，同时也严重的影响了中国内陆地区的半导体制造水平达到国际顶端制造工艺的进程。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题，而提供一种用于极紫外光光刻机的基础座。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种技术方案：一种用于极紫外光光刻机的基础座，包括基础座本体、晶圆处理单元基础座、主体单元基础座一、主体单元基础座二、光源基础座和周边配件钢框，所述晶圆处理单元基础座、主体单元基础座一、主体单元基础座二、光源基础座和周边配件钢框依次设置在基础座本体中；所述晶圆处理单元基础座的具体结构为：包括晶圆处理单元基础座防震脚配件A、晶圆处理单元基础座面体、晶圆处理单元基础座防震脚配件B、晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢、晶圆处理单元基础座侧面连接板和晶圆处理单元基础座钢构底座体；所述晶圆处理单元基础座面体固定连接在晶圆处理单元基础座钢构底座体的上端；所述晶圆处理单元基础座面体上表面上分别设有一个晶圆处理单元基础座防震脚配件A和晶圆处理单元基础座防震脚配件B；所述晶圆处理单元基础座面体四周外侧表面上端均固定连接有一个晶圆处理单元基础座侧面连接板；所述晶圆处理单元基础座面体四周外侧表面中端上均固定连接有一个晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢；所述主体单元基础座一的具体结构为：包括主体单元基础座一防震脚配件A、主体单元基础座一防震脚配件B、主体单元基础座一侧面连接板、主体单元基础座一内嵌配件C型钢、主体单元基础座一钢构底座体和主体单元基础座一面体；所述主体单元基础座一面体固定连接在主体单元基础座一钢构底座体上表面；所述主体单元基础座一面体上表面上分别设有两个主体单元基础座一防震脚配件A和一个主体单元基础座一防震脚配件B，两个所述主体单元基础座一防震脚配件A位于主体单元基础座一防震脚配件B的两侧；所述主体单元基础座一钢构底座体四周外侧表面上端均固定连接有一个主体单元基础座一侧面连接板；所述主体单元基础座一钢构底座体四周外侧表面中端均固定连接有一个主体单元基础座一内嵌配件C型钢；所述主体单元基础座二的具体结构为：包括主体单元基础座二主面体、主体单元基础座二辅面体、主体单元基础座二侧面连接板、主体单元基础座二内嵌配件C型钢和主体单元基础座二钢构底座体；所述主体单元基础座二辅面体为两个，分别固定连接在主体单元基础座二主面体的两侧；所述主体单元基础座二钢构底座体固定连接在主体单元基础座二主面体和主体单元基础座二辅面体的下方；所述主体单元基础座二主面体和主体单元基础座二辅面体组合成的整体四周外表面上端均固定连接有一个主体单元基础座二侧面连接板；所述主体单元基础座二主面体和主体单元基础座二辅面体组合成的整体四周外表面中端上均固定连接有一个主体单元基础座二内嵌配件C型钢。