[实用新型]一种低能耗刻蚀液中和反应罐有效

专利信息
申请号: 201820965941.2 申请日: 2018-06-22
公开(公告)号: CN208554213U 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: 冯卫文;王涛;宋斌;罗堂富;王芳 申请(专利权)人: 绵阳艾萨斯电子材料有限公司
主分类号: B01J19/24 分类号: B01J19/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 621000 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种低能耗刻蚀液中和反应罐,包括混流罐、中和灌、进液腔和出液口。其特征在于:通过在混流罐内设置相互交错的多层隔板,酸性刻蚀液和碱性刻蚀液在重力作用下流经层层隔板,大大加长加宽了液体流程,即增加了酸液和碱液混合的机会和时间,不需要搅拌装置即可实现酸液和碱液的充分混合;将酸液口和碱液口集成在一起,酸、碱刻蚀液可同时注入混流罐,而且进液腔下端设置有网孔较小的网状挡板,使得酸液和碱液在进入混流罐之前已经得到了初步混合。本实用新型结构简单,取消了搅拌装置,大大降低了酸、碱刻蚀液中和反应的能耗。
搜索关键词: 刻蚀液 混流 碱液 酸液 本实用新型 中和反应罐 搅拌装置 低能耗 进液腔 隔板 碱性刻蚀液 酸性刻蚀液 充分混合 初步混合 多层隔板 网状挡板 液体流程 中和反应 重力作用 出液口 加宽 加长 网孔 下端 交错 能耗 中和
【主权项】:
1.一种低能耗刻蚀液中和反应罐,包括混流罐(1)、中和罐(8)、进液腔(3)和出液口(5)其特征在于:所述混流罐(1)为方形,混流罐(1)内设置有多层隔板(2),所述隔板(2)一端与混流罐(1)内壁封闭连接,另一端与混流罐(1)内壁有间隙,相邻隔板(2)与混流罐(1)内壁形成的间歇交错排列;所述混流罐(1)其中一侧可开关,与可开关一侧相邻的两侧设有梯形槽(10),所述隔板(2)与混流罐(1)连接的连接端头(21)截面呈梯形,连接端头(21)与梯形槽(10)相匹配,隔板(2)通过连接端头(21)插入梯形槽(10);所述隔板(2)上设有纵横交错的凹槽(22);所述进液腔(3)设置于混流罐(1)顶部,进液腔(3)上集成有酸液口(31)和碱液口(32);所述进液腔(3)底部为网状挡板(4);所述中和罐(8)与混流罐(1)一体成型,并位于混流罐(1)的底部,中和罐(8)与混流罐(1)之间由一边高一边低的斜面板(9)隔开,斜面板(9)较低的一端与混流罐(1)侧壁有间歇,该间歇成为液体流入中和罐(8)的通道;所述中和罐(8)内壁设置有pH值检测头(6),所述混流罐(1)顶部设置有pH值显示器(7),pH值检测头(6)与pH值显示器(7)电性连接;所述pH值检测头(6)与中和罐(8)底部的距离和与斜面板(9)最高处的距离相等。
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