[实用新型]一种物理气相沉积磁控蒸发地真空镀膜设备

摘要

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种物理气相沉积磁控蒸发地真空镀膜设备，包括：配电箱、仓门、密封胶条；所述仓门位于仓体的两侧，且仓门与仓体通过铰链相连接；所述配电箱设置在仓门的顶端，且配电箱与仓门通过固定螺栓相连接；所述密封胶条设置在仓门的内壁上，且密封胶条与仓门通过固定螺栓相连接；所述观察窗设置在仓门的外壁上，且观察窗与仓门通过镶嵌方式相连接；本实用新型通过以上结构上的改进，具有工件及镀料装卸与镀膜同时进行，生产效率高、加热蒸发镀膜技术和磁控溅射镀膜技术有效结合，镀膜质量好、装置容量大、生产效率高、适用范围广的优点，从而有效的解决了现有装置中存在的问题和不足。

主权项

1.一种物理气相沉积磁控蒸发地真空镀膜设备，包括：配电箱(1)、仓门(2)、密封胶条(3)、安装架(4)、磁控溅射仓(5)、接线口(6)、观察窗(7)、把手(8)、蒸发仓(9)、仓体(10)、通气口(11)、磁控溅射装置(12)、蒸发装置(13)、置物架(14)、传动轴(15)、驱动电机(16)、减速机(17)、齿轮传动箱(18)、驱动齿轮(19)、从动齿轮(20)、连接件(401)、上固定板(402)、固定杆(403)、下固定板(404)、极板(1201)、磁铁(1202)、铜背板(1203)、靶材(1204)、坩埚(1301)、导电支架(1302)、隔板(1303)、蒸发电源(1304)；其特征在于：所述仓门(2)位于仓体(10)的两侧，且仓门(2)与仓体(10)通过铰链相连接；所述配电箱(1)设置在仓门(2)的顶端，且配电箱(1)与仓门(2)通过固定螺栓相连接；所述密封胶条(3)设置在仓门(2)的内壁上，且密封胶条(3)与仓门(2)通过固定螺栓相连接；所述观察窗(7)设置在仓门(2)的外壁上，且观察窗(7)与仓门(2)通过镶嵌方式相连接；所述把手(8)设置在仓门(2)的一侧，且把手(8)与仓门(2)通过焊接方式相连接；所述安装架(4)位于仓门(2)的内部，且安装架(4)与仓门(2)通过嵌入方式相连接；所述连接件(401)设置在上固定板(402)的顶端，且连接件(401)与上固定板(402)通过焊接方式相连接；所述连接件(401)的顶端与仓门(2)通过嵌入方式相连接；所述下固定板(404)位于上固定板(402)的下方，且下固定板(404)与上固定板(402)通过固定杆(403)相连接；所述置物架(14)的上部与上固定板(402)通过贯穿方式相连接，且置物架(14)的下部与下固定板(404)通过贯穿方式相连接；所述从动齿轮(20)位于置物架(14)的底端，且从动齿轮(20)与置物架(14)通过卡合方式相连接；所述驱动齿轮(19)设置在下固定板(404)的下方，且驱动齿轮(19)与从动齿轮(20)通过啮合方式相连接；所述齿轮传动箱(18)设置在仓门(2)的底端，且齿轮传动箱(18)与仓门(2)通过固定螺栓相连接；所述齿轮传动箱(18)与驱动齿轮(19)通过传动轴(15)相连接；所述减速机(17)位于齿轮传动箱(18)的一侧，且减速机(17)与齿轮传动箱(18)通过固定螺栓相连接；所述驱动电机(16)位于减速机(17)的一侧，且驱动电机(16)与减速机(17)通过固定螺栓相连接；所述磁控溅射仓(5)设置在仓体(10)的顶端，且磁控溅射仓(5)与仓体(10)为一体式结构；所述磁控溅射装置(12)位于磁控溅射仓(5)的内部；所述磁铁(1202)位于极板(1201)的下方，且磁铁(1202)的下方与铜背板(1203)相连接；所述靶材(1204)位于铜背板(1203)的下方；所述接线口(6)贯通设置在磁控溅射仓(5)的顶端；所述通气口(11)贯通设置在仓体(10)的背部；所述蒸发仓(9)设置在仓体(10)的底端，且蒸发仓(9)与仓体(10)通过固定螺栓相连接；所述蒸发装置(13)设置在蒸发仓(9)的内部；所述隔板(1303)位于蒸发仓(9)的内部，且隔板(1303)与蒸发仓(9)通过卡合方式相连接；所述坩埚(1301)设置在隔板(1303)的顶端，且坩埚(1301)与隔板(1303)通过导电支架(1302)相连接；所述蒸发电源(1304)位于隔板(1303)的下方，且蒸发电源(1304)与导电支架(1302)通过电性相连接。