[实用新型]一种背照式图像传感器

摘要

本实用新型涉及一种背照式图像传感器，包括基板、光电二极管以及第一导电类型隔离层；光电二极管设置于基板内，第一导电类型隔离层设置在光电二极管与基板的前表面之间；基板内还设置有具有第二导电类型重掺杂的高浓度杂质区，高浓度杂质区与光电二极管之间的基板前表面上设置有栅电极，栅电极延伸至对应第一导电类型隔离层的基板前表面上，栅电极对应覆盖光电二极管，基板的前表面还设置有介电层和导线层，介电层内设置有吸光层；基板的背表面设置有绝缘层和固定电荷层。本实用新型的技术方案提供了一种背照式图像传感器，降低了暗电流，且能省略用于形成背钉扎层的离子注入过程和激光退火过程，以及利用吸光层吸收从光电二极管透射过来的光线。

主权项

1.一种背照式图像传感器，其特征在于，包括第一导电类型隔离层(3)、具有第一导电类型的基板(1)以及具有第二导电类型的光电二极管(2)；所述光电二极管(2)设置于所述基板(1)内，所述第一导电类型隔离层(3)设置在所述光电二极管(2)与所述基板(1)的前表面之间；所述基板(1)内还设置有具有第二导电类型重掺杂的高浓度杂质区(4)，所述高浓度杂质区(4)与所述光电二极管(2)间隔设置；所述高浓度杂质区(4)与所述光电二极管(2)之间的基板(1)前表面上设置有栅电极(5)，所述栅电极(5)延伸至对应第一导电类型隔离层(3)的基板(1)前表面上，栅电极(5)对应覆盖光电二极管(2)，所述栅电极(5)包括栅氧化层(51)、栅极层(52)和栅极侧墙(53)；所述基板(1)的前表面还设置有介电层(6)和导线层(7)，所述介电层(6)内设置有吸光层(8)；所述基板(1)的背表面设置有绝缘层(9)和固定电荷层(10)。