[实用新型]成膜掩模

摘要

本申请公开了一种成膜掩模，包括：聚合物膜片，其中多个开口图案贯通聚合物膜片的第一面与聚合物膜片的第二面；具有多个第一贯通孔的第一金属层，第一贯通孔的形状以及位置与聚合物膜片的开口图案的形状以及位置相匹配；具有多个第二贯通孔的第二金属层，第二贯通孔的形状以及位置与聚合物膜片的开口图案的形状以及位置相匹配；二预置金属层分别设置于聚合物膜片与第一金属层之间以及设置于聚合物膜片与第二金属层之间；第一贯通孔以及第二贯通孔分别贯通预置金属层。通过在聚合物膜片的相对两侧面上分别形成金属层的复合式成膜掩模结构，使得成膜掩模在高分辨率制造工艺中能具有较高的良率，并且在高开孔率状态仍具有足够的强度。

主权项

1.一种成膜掩模，其特征在于，所述成膜掩模包括：聚合物膜片，具有第一面、第二面以及多个开口图案，所述第一面与所述第二面是相对设置，多个所述开口图案贯通所述第一面与所述第二面；第一金属层，设置于所述第一面上，所述第一金属层具有多个第一贯通孔，所述多个第一贯通孔的形状以及位置与所述多个开口图案的形状以及位置相匹配；第二金属层，设置于所述第二面上，所述第二金属层具有多个第二贯通孔，所述多个第二贯通孔的形状以及位置与所述多个开口图案的形状以及位置相匹配；以及二预置金属层，分别设置于所述聚合物膜片与所述第一金属层之间，以及设置于所述聚合物膜片与所述第二金属层之间；其中，多个所述第一贯通孔以及多个所述第二贯通孔分别贯通所述二预置金属层。