[实用新型]一种胶盘和匀胶机

摘要

一种胶盘和匀胶机，属于半导体生产领域。胶盘包括相互配合的底座、内圈以及盘盖。其中，内圈能够被扣合的底座和盘盖之间形成的空腔所容纳。底座和盘盖能够相互分离，且内圈以能够从底座内分离。本实用新型提出的胶盘具有安装方便，易于使用的优点。

主权项

1.一种胶盘，用于匀胶机，其特征在于，所述胶盘包括：底座，所述底座具有呈圆柱形结构的第一中空侧板、与所述第一中空侧板连接的底板，所述第一中空侧板的一端连接所述底板连接并被所述底板封闭、且另一端为开口端，所述底板还设置有呈圆柱形结构的第二中空侧板和第三中空侧板，所述第二中空侧板位于所述第一中空侧板和所述第三中空侧板之间，第一中空侧板、所述第二中空侧板、第三中空侧板将所述底板分隔为从圆心向外缘分布的第一区域、第二区域以及第三区域，所述底板在所述第一区域设置有第一通孔、在所述第二区域设置有第二通孔、在所述第三区域设置有第三通孔；内圈，所述内圈包括圆盘状的第一板片、连接在所述第一板片的第一圆柱形件，所述柱形件从所述第一板片延伸，所述第一圆柱形件与所述第一板片同轴且在圆心处设置有连通的第一贯穿孔，所述内圈能够以可移除且所述第一圆柱形件与所述第二中空侧板配合的方式扣合在所述底座内，且所述第一板片的外缘与所述第一中空侧板内壁之间形成间隙；盘盖，所述盘盖具有第二板片、穿设在所述第二板片的第二圆柱形件，所述第二板片与所述第二圆柱形件同轴设置且在圆心处设置有连通的第二贯穿孔，所述第二圆柱形件具有分别位于所述第二板片两侧的第一部分和第二部分，所述盘盖能够以可移除且所述第一部分嵌入所述间隙的方式扣合在所述底座内且覆盖所述内圈。