[实用新型]一种胶盘和匀胶机

说明书

一种胶盘和匀胶机，属于半导体生产领域。胶盘包括相互配合的底座、内圈以及盘盖。其中，内圈能够被扣合的底座和盘盖之间形成的空腔所容纳。底座和盘盖能够相互分离，且内圈以能够从底座内分离。本实用新型提出的胶盘具有安装方便，易于使用的优点。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产领域，具体而言，涉及一种胶盘和匀胶机。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。该设备主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。

目前，使用得较多匀胶机有SVG匀胶机，其设计结构存在缺陷人员更换十分不方便。尤其是女员工在更换老SVG胶盘时，因安装繁琐不到位导致废碎片问题，不仅影响产品质量，还存在一定的安全隐患。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

基于现有技术的不足，本实用新型提供了一种胶盘和匀胶机，以部分或全部地改善、甚至解决现有技术中的问题。

本实用新型是这样实现的：

在本实用新型的第一方面，提供了一种胶盘。

本实用新型所提出的胶盘适用于匀胶机。

胶盘包括：

底座，底座具有呈圆柱形结构的第一中空侧板、与第一中空侧板连接的底板，第一中空侧板的一端连接底板连接并被底板封闭、且另一端为开口端，底板还设置有呈圆柱形结构的第二中空侧板和第三中空侧板，第二中空侧板位于第一中空侧板和第三中空侧板之间，第一中空侧板、第二中空侧板、第三中空侧板将底板分隔为从圆心向外缘分布的第一区域、第二区域以及第三区域，底板在第一区域设置有第一通孔、在第二区域设置有第二通孔、在第三区域设置有第三通孔；

内圈，内圈包括圆盘状的第一板片、连接在第一板片的第一圆柱形件，柱形件从第一板片延伸，第一圆柱形件与第一板片同轴且在圆心处设置有连通的第一贯穿孔，内圈能够以可移除且第一圆柱形件与第二中空侧板配合的方式扣合在底座内，且第一板片的外缘与第一中空侧板内壁之间形成间隙；

盘盖，盘盖具有第二板片、穿设在第二板片的第二圆柱形件，第二板片与第二圆柱形件同轴设置且在圆心处设置有连通的第二贯穿孔，第二圆柱形件具有分别位于第二板片两侧的第一部分和第二部分，盘盖能够以可移除且第一部分嵌入间隙的方式扣合在底座内且覆盖内圈。

在其他的一个或多个示例中，胶盘采用尼龙制作而成。

在其他的一个或多个示例中，第二通孔为半圆形结构。

在其他的一个或多个示例中，第三通孔为半圆形结构。

在其他的一个或多个示例中，第二通孔为半圆形结构由第一弧线边和第一直线边构成，第三通孔为半圆形结构且由第二弧线边和第二直线边构成；

在底板的由圆心至边缘延伸的方向，第一弧线边邻近圆心，第一直线边远离圆心，第二弧线边远离圆心，第二直线边邻近圆心。

在其他的一个或多个示例中，第一直线边和第二直线边分别贴靠于第二中空侧板沿厚度方向的两侧。

在其他的一个或多个示例中，第二通孔和第三通孔错位布置。

在其他的一个或多个示例中，第一中空侧板的厚度大于第二中空侧板的厚度，第一中空侧板的厚度还大于第三中空侧板的厚度。

在其他的一个或多个示例中，第一部分的长度小于第二部分的长度。

在本实用新型的第二方面，提供了一种匀胶机。