[实用新型]一种便于插片及取片的中转花篮有效
| 申请号： | 201820860031.8 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN208225857U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 庞爱锁;林佳继;刘群;伊凡·裴力林;朱太荣;范棋翔;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 彭西洋;苏芳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种便于插片及取片的中转花篮，包括两支撑板、若干第一花篮杆、若干第二花篮杆；所述两支撑板平行布置，若干第一花篮杆布置于两支撑板之间的一侧，若干第二花篮杆布置于两支撑板之间的另一侧；所述第一花篮杆的内侧从上至下间隔设有若干第一花篮齿；所述第二花篮杆的内侧从上至下间隔设有若干第二花篮齿；所有第一花篮齿与所有第二花篮齿从上至下呈同一水平面一一对应，用以形成硅片承载槽。本实用新型不仅可实现从一侧导入硅片后，相邻的两侧均可以导出硅片；还可实现多列中转花篮同时工作，一次性取出几列硅片，提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 花篮杆 花篮齿 支撑板 从上至下 硅片 本实用新型 花篮 插片 取片 同一水平面 硅片承载 平行布置 一次性 产能 导出 多列 取出 | ||
【主权项】：
1.一种便于插片及取片的中转花篮，其特征在于，包括两支撑板、若干第一花篮杆、若干第二花篮杆；所述两支撑板平行布置，若干第一花篮杆布置于两支撑板之间的一侧，若干第二花篮杆布置于两支撑板之间的另一侧；所述第一花篮杆的内侧从上至下间隔设有若干第一花篮齿；所述第二花篮杆的内侧从上至下间隔设有若干第二花篮齿；所有第一花篮齿与所有第二花篮齿从上至下呈同一水平面一一对应，用以形成硅片承载槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
