[实用新型]一种便于插片及取片的中转花篮

权利要求书

1.一种便于插片及取片的中转花篮，其特征在于，包括两支撑板、若干第一花篮杆、若干第二花篮杆；所述两支撑板平行布置，若干第一花篮杆布置于两支撑板之间的一侧，若干第二花篮杆布置于两支撑板之间的另一侧；所述第一花篮杆的内侧从上至下间隔设有若干第一花篮齿；所述第二花篮杆的内侧从上至下间隔设有若干第二花篮齿；所有第一花篮齿与所有第二花篮齿从上至下呈同一水平面一一对应，用以形成硅片承载槽。

2.根据权利要求1所述的便于插片及取片的中转花篮，其特征在于，两第一花篮杆之间的间距为第一间距，第一间距小于硅片的长度。

3.根据权利要求2所述的便于插片及取片的中转花篮，其特征在于，所述第一花篮杆、第二花篮杆均设置为两个。

4.根据权利要求3所述的便于插片及取片的中转花篮，其特征在于，所述第一花篮齿垂直于第一花篮杆安装在第一花篮杆表面，且垂直于两第一花篮杆所在的平面。

5.根据权利要求4所述的便于插片及取片的中转花篮，其特征在于，两第二花篮杆之间的间距为第二间距，第二间距略大于硅片的长度。

6.根据权利要求5所述的便于插片及取片的中转花篮，其特征在于，所述第二花篮齿垂直于第二花篮杆安装在第二花篮杆表面，且与两第二花篮杆所在的平面的夹角小于90°。

7.根据权利要求1所述的便于插片及取片的中转花篮，其特征在于，每一第一花篮杆上的第一花篮齿设置为20～100个；每一第二花篮杆上的第二花篮齿设置为20～100个；所述每一第一花篮杆上的第一花篮齿数量与每一第二花篮杆上的第二花篮齿数量一致。