[实用新型]一种用于高纯硅烷供气的脉冲反吹装置

摘要

本实用新型公开了一种用于高纯硅烷供气的脉冲反吹装置，其包括气源、供气管路、吹扫管路和脉冲反吹管路；脉冲反吹管路，包括依次连接反吹头和第四截止阀，第四截止阀连接调压阀前端；反吹头包括壳体，壳体呈漏斗形，漏斗形大端的端部有凹槽，凹槽内安装卡盘，同时漏斗形大端安装端盖，端盖卡住卡盘起限位作用，端盖设有出口作为第二接头；卡盘中心开有中心孔，中心孔安装阀杆；漏斗形小端是用于连接压缩气体的第一接头；壳体内部有凸起；阀杆顶端有阀杆头，阀杆安装有弹簧，阀杆头在弹簧作用下顶住凸起在壳体内部截断成两个空间。本实用新型的有益效果是，脉冲反吹杜绝二氧化硅粉末对管路阀门的破坏。

主权项

1.一种用于高纯硅烷供气的脉冲反吹装置，其包括：气源（1），以及供气管路（18），供气管路（18）有两路，供气管路（18）包括依次连接的第一截止阀（4、8），调压阀（5、11）和第二截止阀（7、17）；两路供气管路（18）汇成一路作为供气端（21）；吹扫管路（20），包括文丘里（15），文丘里（15）侧吸口分两路分别安装第三截止阀（6、16），第三截止阀（6、16）连接到调压阀（5、11）后端；脉冲反吹管路（19），包括依次连接反吹头（9、13）和第四截止阀（10、12），第四截止阀（10、12）连接调压阀（5、11）前端；其特征在于，反吹头（9、13）包括壳体（910），壳体（910）呈漏斗形，漏斗形大端的端部有凹槽（909），凹槽（909）内安装卡盘（904），同时漏斗形大端安装端盖（902），端盖（902）卡住卡盘（904）起限位作用，端盖（902）设有出口作为第二接头（901）；卡盘（904）中心开有中心孔，中心孔安装阀杆（906），卡盘（904）的盘面还开有通气流的气孔（905）；漏斗形小端是用于连接压缩气体的第一接头（912）；壳体（910）内部有凸起（911）；阀杆（906）顶端有阀杆头（907），阀杆（906）安装有弹簧（908），阀杆头（907）在弹簧作用下顶住凸起（911）在壳体（910）内部截断成两个空间。