[实用新型]一种用于高纯硅烷供气的脉冲反吹装置

说明书

本实用新型公开了一种用于高纯硅烷供气的脉冲反吹装置，其包括气源、供气管路、吹扫管路和脉冲反吹管路；脉冲反吹管路，包括依次连接反吹头和第四截止阀，第四截止阀连接调压阀前端；反吹头包括壳体，壳体呈漏斗形，漏斗形大端的端部有凹槽，凹槽内安装卡盘，同时漏斗形大端安装端盖，端盖卡住卡盘起限位作用，端盖设有出口作为第二接头；卡盘中心开有中心孔，中心孔安装阀杆；漏斗形小端是用于连接压缩气体的第一接头；壳体内部有凸起；阀杆顶端有阀杆头，阀杆安装有弹簧，阀杆头在弹簧作用下顶住凸起在壳体内部截断成两个空间。本实用新型的有益效果是，脉冲反吹杜绝二氧化硅粉末对管路阀门的破坏。

技术领域

本实用新型涉及气体供应领域，尤其是涉及一种用于高纯硅烷供气的脉冲反吹装置。

背景技术

硅烷是半导体生成常用的气体，它性质是易燃易爆气体，它和空气中的氧气反应生成二氧化硅粉末。对于高纯管道而言，二氧化硅粉末滞留在管道中会产生负面影响，尤其是如果二氧化硅粉末在阀门的密封面，长期而言会对精密阀门的密封面造成磨损，形成内漏，也就是阀门无法有截止作用；所以要定期对高纯硅烷供应管路进行脉冲反吹，尤其是气源更换后，残留硅烷和断开气源进入的空气可能形成二氧化硅粉末，但是普通的气流吹扫是无法清洗完全的，因为气流比较平缓。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提出了一种用于高纯硅烷供气的脉冲反吹装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种用于高纯硅烷供气的脉冲反吹装置，其包括：

气源，以及

供气管路，供气管路有两路，供气管路包括依次连接的第一截止阀，调压阀和第二截止阀；两路供气管路汇成一路作为供气端；

吹扫管路，包括文丘里，文丘里侧吸口分两路分别安装第三截止阀，第三截止阀连接到调压阀后端；

脉冲反吹管路，包括依次连接反吹头和第四截止阀，第四截止阀连接调压阀前端；

反吹头包括壳体，壳体呈漏斗形，漏斗形大端的端部有凹槽，凹槽内安装卡盘，同时漏斗形大端安装端盖，端盖卡住卡盘起限位作用，端盖设有出口作为第二接头；卡盘中心开有中心孔，中心孔安装阀杆，卡盘的盘面还开有通气流的气孔；漏斗形小端是用于连接压缩气体的第一接头；壳体内部有凸起；阀杆顶端有阀杆头，阀杆安装有弹簧，阀杆头在弹簧作用下顶住凸起在壳体内部截断成两个空间。

进一步地，所述端盖和壳体通过螺纹连接。

进一步地，所述文丘里入口和反吹头连接接压缩高纯氮气。

进一步地，所述文丘里出口连接燃烧塔。

进一步地，所述第一接头和第二接头是VCR接头。

进一步地，所述阀杆、壳体、卡盘和端盖同心。

进一步地，所述供气管路两路之间装有第五截止阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：该装置可以实现对硅烷供应管路进行脉冲反吹，杜绝二氧化硅粉末对管路阀门的破坏。

附图说明

图1为本实用新型的示意图；

图2为本实用新型的反吹头示意图；

附图标记说明：1-气源；2-总阀；3-第五截止阀；4、8-第一截止阀；5、11-调压阀；6、16-第三截止阀；7、17-第二截止阀；9、13-反吹头；901-第二接头；902-端盖；904-卡盘；905-气孔；906-阀杆；907-阀杆头；908-弹簧；909-凹槽；910-壳体；911-凸起；912-第一接头；10、12-第四截止阀；14-第六截止阀；15-文丘里；18-供气管路；19-脉冲反吹管路；20-吹扫管路；21-供气端。

具体实施方式