[实用新型]一种剥离液再生工艺段的光刻胶分离系统

摘要

一种剥离液再生工艺段的光刻胶分离系统，包括混料搅拌箱、过滤器、第一输送泵、吸附塔、第二输送泵、薄膜蒸发器，混料搅拌箱连接废液罐和纯水罐，过滤器的滤液输出端连接第一输送泵和再过滤输送泵，再过滤输送泵连接混料搅拌箱进料端，薄膜蒸发器的塔体上部为蒸发腔，中部和下部为成膜腔，塔体内转轴上部设有分配盘，中部和下部设有刮板，分配盘包括倒立锥形网板和正立锥形网板，成膜腔外壁设有蒸汽加热腔，蒸汽加热腔被环形绝热板分隔为多个蒸汽室，各蒸汽室上设有蒸汽入口和蒸汽出口，成膜腔顶部侧壁设有进液口，第二输送泵连接进液口，蒸发腔顶部侧壁设有排汽管，排汽管连接冷凝器。实现分离光刻胶和剥离液，分离效率高。

主权项

1.一种剥离液再生工艺段的光刻胶分离系统，包括通过管路依次连接的混料搅拌箱（03）、过滤器（04）、第一输送泵（06）、吸附塔（08）、第二输送泵（07）、薄膜蒸发器（09），混料搅拌箱（03）进料端连接废液罐（01）和纯水罐（02），其特征在于，过滤器（04）的滤液输出端连接第一输送泵（06）和再过滤输送泵（05），再过滤输送泵（05）连接混料搅拌箱（03）进料端，薄膜蒸发器（09）包括塔体（1），塔体（1）上部为蒸发腔（11），中部和下部为成膜腔（12），塔体（1）顶部设有转动电机（2），转动电机（2）连接有竖直穿设于塔体（1）内的转轴（21），转轴（21）上部设有分配盘（22），中部和下部设有刮板（23），分配盘（22）包括设于上方的倒立锥形网板和设于倒立锥形网板下方的正立锥形网板，成膜腔（12）外壁设有蒸汽加热腔（3），蒸汽加热腔（3）被环形绝热板（31）分隔为多个蒸汽室，各蒸汽室上设有蒸汽入口（32）和蒸汽出口（33），成膜腔（12）顶部侧壁设有进液口（13），第二输送泵（07）连接进液口（13），蒸发腔（11）顶部侧壁设有排汽管，排汽管连接冷凝器（010），排汽管上设有三通阀（14），三通阀（14）上还连接有直接排气管，冷凝器（010）连接液体收集罐（011）。