[实用新型]一种剥离液再生工艺段的光刻胶分离系统

说明书

一种剥离液再生工艺段的光刻胶分离系统，包括混料搅拌箱、过滤器、第一输送泵、吸附塔、第二输送泵、薄膜蒸发器，混料搅拌箱连接废液罐和纯水罐，过滤器的滤液输出端连接第一输送泵和再过滤输送泵，再过滤输送泵连接混料搅拌箱进料端，薄膜蒸发器的塔体上部为蒸发腔，中部和下部为成膜腔，塔体内转轴上部设有分配盘，中部和下部设有刮板，分配盘包括倒立锥形网板和正立锥形网板，成膜腔外壁设有蒸汽加热腔，蒸汽加热腔被环形绝热板分隔为多个蒸汽室，各蒸汽室上设有蒸汽入口和蒸汽出口，成膜腔顶部侧壁设有进液口，第二输送泵连接进液口，蒸发腔顶部侧壁设有排汽管，排汽管连接冷凝器。实现分离光刻胶和剥离液，分离效率高。

技术领域

本实用新型涉及剥离液再生，尤其与一种剥离液再生工艺段的光刻胶分离系统的结构有关。

背景技术

光刻胶剥离液在微电子行业大量使用，应用于印刷电路板、液晶显示器、半导体集成电路等工艺制造中。对于使用后的剥离液废液，含有可再利用的组分以及剥离液，若是能合理的实现再利用，将极大降低成本。本实用新型针对剥离液再生工艺段，提出一种光刻胶分离系统，有效分离可再次利用的光刻胶和剥离液。

实用新型内容

本实用新型提一种剥离液再生工艺段的光刻胶分离系统，以解决上述问题，实现分离光刻胶和剥离液，且对薄膜蒸发模块进行改进，提高分离效率。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下技术：

一种剥离液再生工艺段的光刻胶分离系统，包括通过管路依次连接的混料搅拌箱、过滤器、第一输送泵、吸附塔、第二输送泵、薄膜蒸发器，混料搅拌箱进料端连接废液罐和纯水罐，其特征在于，过滤器的滤液输出端连接第一输送泵和再过滤输送泵，再过滤输送泵连接混料搅拌箱进料端，薄膜蒸发器包括塔体，塔体上部为蒸发腔，中部和下部为成膜腔，塔体顶部设有转动电机，转动电机连接有竖直穿设于塔体内的转轴，转轴上部设有分配盘，中部和下部设有刮板，分配盘包括设于上方的倒立锥形网板和设于倒立锥形网板下方的正立锥形网板，成膜腔外壁设有蒸汽加热腔，蒸汽加热腔被环形绝热板分隔为多个蒸汽室，各蒸汽室上设有蒸汽入口和蒸汽出口，成膜腔顶部侧壁设有进液口，第二输送泵连接进液口，蒸发腔顶部侧壁设有排汽管，排汽管连接冷凝器，排汽管上设有三通阀，三通阀上还连接有直接排气管，冷凝器连接液体收集罐。

进一步，所述混料搅拌箱内设有由电机控制的搅拌桨。

进一步，所述蒸汽入口均连接蒸汽进气管，蒸汽出口均连接蒸汽出气管，蒸汽出气管连接蒸汽加热器，蒸汽加热器连接蒸汽进气管的蒸汽输入端。

进一步，所述塔体底部有浓缩液排出口。

本实用新型的有益效果：

1、通过管路依次连接的混料搅拌箱、过滤器、第一输送泵、吸附塔、第二输送泵、薄膜蒸发器，可在过滤器处有效实现对于光刻胶的分离，然后通过吸附塔，经过塔内活性炭吸附处理后，吸附脱色和出去过滤液中的金属离子，由蒸发器实现剥离液的分离，冷凝器冷凝后收集剥离液；

2、过滤器的过滤液端通过再过滤输送泵将过滤液送回混料搅拌箱，以提高过滤器处理的效果，实现最大化的分离光刻胶；到一定程度后，改由第一输送泵送往后续工序；

3、薄膜蒸发器的成膜腔上部增设分配盘，且分配盘是由两个锥形网板对立组合构成，利于过滤液从进液口进入后，在转动的分配盘的作用下，连续均匀的分布到垂直的塔体加热面上；成膜腔外壁的蒸汽加热腔通过环形绝热板分隔为多个小型蒸汽室，每个蒸汽室配备入口和出口，便于提高蒸汽加热的效率和均匀性；且出口收集蒸汽，通过蒸汽加热器后，可汇入蒸汽输入端继续使用，减少直接输入的热能，节省能耗。

附图说明

图1是本实用新型整体系统结构图。

图2是本实用新型薄膜蒸发器结构示意图。

具体实施方式