[实用新型]一种陶瓷电阻式压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种陶瓷电阻式压力传感器，包括用于感测被测介质压力而产生微位移的陶瓷膜片、与陶瓷膜片配合固定并形成预定厚度的空腔的陶瓷基座、以及设置在陶瓷膜片内侧用于检测微位移并转换为对应的标准测量信号的厚膜电路。本实用新型采用的是电容式结构且电阻式原理，被测介质的压力直接作用于陶瓷膜片上，使陶瓷膜片产生与介质压力成正比的微位移，进而通过厚膜电路的压敏电阻检测该微位移并把这一位移量转换成对应于这一压力的标准测量信号。超压时陶瓷膜片直接贴到坚固的陶瓷基座上，进而从结构上保证了陶瓷膜片不会产生过大变型，具有很强的抗冲击及抗过载能力，稳定性高，测量精度高。

主权项

1.一种陶瓷电阻式压力传感器，其特征在于，包括用于感测被测介质压力而产生微位移的陶瓷膜片(10)、与所述陶瓷膜片(10)配合固定并形成预定厚度的空腔的陶瓷基座(20)、以及设置在所述陶瓷膜片(10)内侧用于检测所述微位移并转换为对应的标准测量信号的厚膜电路。